 
|
Silikon Karbid Tepsileri SiC plakaları ICP kazımı için tepsiler MOCVD Susceptor Kullanım Direnci
Ürün ayrıntıları:
| Marka adı: | ZMSH |
| Model numarası: | SiC wafers tepsisi |
Ödeme & teslimat koşulları:
| Min sipariş miktarı: | 5 |
|---|---|
| Teslim süresi: | 2-4 Hafta |
| Ödeme koşulları: | T/T |
| Yetenek temini: | 5 |
|
Detay Bilgi |
|||
| Menşe yeri: | Çin ZMSH | Kimyasal bileşim: | SiC kaplı grafit |
|---|---|---|---|
| Bükülme mukavemeti: | 470Mpa | Isı iletkenliği:: | 300 W/mK |
| fonksiyon: | CVD-SiC | yoğunluk: | 3.21 g/cc |
| Termal Genleşme: | 4 10-6/K | Kül: | < 5 ppm |
| HS kodu: | 6903100000 | Isı iletkenliği:: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-°C) |
| Vurgulamak: | ICP kazımlı silikon karbid tepsileri,MOCVD Susceptor Silikon Karbid Tepsileri,Kullanım Dayanıklı Silikon Karbid Tepsileri |
||
Ürün Açıklaması
Silikon Karbid Tepsileri SiC plakaları ICP kazımı için tepsiler MOCVD Susceptor Kullanım Direnci
Açıklama
SIC kaplı grafit tepsileri, yüksek saflıkta grafit matrislerinden yapılır ve olağanüstü yüksek saflık ve teorik yoğunlukta CVD (kimyasal buhar çöküntüsü) aracılığıyla SiC kaplama alır.Bu CVD SiC kaplaması son derece sert.Bu kaplı tepsiler yüksek vakum ve yüksek sıcaklık ortamlarında üstünlük kazanır.Yarım iletken endüstrisi ve diğer ultra temiz ortamlar için idealdir.Temel olarak yarı iletken levhalar üzerindeki epitaksyal katman oluşumu için substrat olarak kullanılırlar ve ultra yüksek saflık yüzeyleri ve üstün aşınma direnci gibi birkaç avantaj sunarlar.En az gözenekli SiC kaplamaları ve silikon karbidin cilalanabilir doğasını sağlayan CVD ile, bu ürünler, MOCVD tepsileri, RTP ve oksit kazma odaları dahil olmak üzere yarı iletken endüstrilerinde geniş bir uygulama bulurlar.Siliciyum nitrit'in mükemmel termal şok direnci ve plazma dayanıklılığı nedeniyle.
Ürün vitrinleri
Ürün özellikleri
- Ultra yüksek saflık
- Mükemmel termal şok direnci
- Mükemmel fiziksel darbe direnci
- Karmaşık şekiller için işlenebilirlik
- Mükemmel kimyasal kararlılık
- Oksitleyici atmosferlerde kullanılabilir.
| Ürün | Birim | Teknik parametreler | |
|---|---|---|---|
| Ray malzemeleri | - Hayır. | SSiC | SiSiC |
| Renk | - Hayır. | Siyah | Siyah |
| yoğunluk | g/cm3 | 3.12 | 3.06 |
| Su Emimi | % | 0 | 0 |
| HRA | - Hayır. | ≥ 92 | ≥ 90 |
| Elastiklik Modülü | Ortalama | 400 | 350 |
| Fleksürel Güç (@R.T.) | Mpa | 359 | 300 |
| Sıkıştırma Gücü (@R.T.) | Mpa | ≥2200 | 2000 |
| Isı İleçliliği (@R.T.) | W/Mk | 110 | 100 |
|
Isı Genişleme katsayısı (20-1000°C) |
10-6/°C | 4.0 | 4.0 |
| Max. Çalışma sıcaklığı | °C | 1500 | 1300 |
Ürün uygulaması
ICP Etching:Silikon Karbid Tepsileri, yarı iletken levhaları tutmak ve işlemek için sağlam platformlar olarak hizmet ettikleri ICP (İndüktif Bağlantılı Plazma) kazım sistemlerinde önemli bileşenlerdir.Tepsilerin aşınmaya dayanıklı doğası, kazım sürecinde uzun süreli güvenilirlik ve tutarlılığı sağlar, waferler üzerindeki hassas desen aktarımına ve yüzey değişikliğine katkıda bulunur.
MOCVD şüpheli:MOCVD sistemlerinde, Silikon Karbid Tepsileri, ince filmlerin yarı iletken substratlara çöküşü için istikrarlı bir destek sağlayarak duyarlı olarak hareket eder.Tepsilerin yüksek saflığı koruma ve yüksek sıcaklıklara dayanabilme yeteneği, üstün kalite ve tekdüzelikle epitaksiyel katmanların büyümesini kolaylaştırmak için idealdir.
Kullanım Dayanıklı:SiC kaplama ile donatılmış olan bu tepsiler, zorlu çalışma koşullarında bile uzun bir kullanım ömrü sağlayan olağanüstü aşınma direnci göstermektedir.Sıvışmaya ve kimyasal bozulmaya dayanıklılık verimliliği arttırır ve duraklama süresini en aza indirir, onları yüksek verimli yarı iletken üretim ortamlarında vazgeçilmez hale getiriyor.
SIC kaplı grafit tepsisi, ısı işleme sırasında yarı iletken levhaların sabitlenmesi ve ısıtılması için bir temel olarak kullanılır. Enerji emilebilir ve çip indüksiyon, iletkenlik veya radyasyon yoluyla ısıtılabilir,ve ısı şok direnci, termal iletkenlik ve saflık hızlı termal işleme (RTP) için gereklidir.ve tabanın performansı ve kalitesi, wafer epitaksyal katmanının kalitesi üzerinde çok önemli bir etkiye sahiptir..
S&A
Grafit duyarlılığı nedir?
Grafit malzemelerinden yapılmış çubuklar ve mufflesSinter'i ısıtma elemanlarından gelen doğrudan ısı radyasyonu gibi dış etkilerden korumakKendilerini ısıtırlar ve ısılarını iş parçasına eşit bir şekilde yayarlar.
SiC kaplama nedir?
Silikon karbid kaplama nedir?yoğun, aşınmaya dayanıklı silikon karbid (SiC) kaplamaYüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine ve mükemmel ısı iletkenliğine sahiptir. SiC'yi kimyasal buhar birikimi (CVD) süreci kullanarak ince katmanlarda grafit üzerine uygulayoruz.Başvurular.
Silikon karbid grafit nedir?
SiC30 - Silikon karbit-grafit kompozit malzemesi
SiC30silikon karbür ve grafitten oluşan olağanüstü bir kompozit malzeme, özelliklerinin birleşimi diğer malzemelerle çözülemeyen sorunları çözüyor.Ürün
Ürün önerisi
1SIC Silikon Karbid Wafer 4H - N Tipi MOS Cihazı için 2 inç Dia50.6mm ((daha fazla bilgi için lütfen resme tıklayın)
Dikkat edin.
Kişiselleştirilebilir ürün seçenekleri ile ilgili özel ayrıntılar için lütfen bizimle iletişime geçin.
Anahtar kelimeler:
- Silikon Karbid Tepsileri
- SiC kaplama
- CVD (kimyasal buhar birikimi)
- Yüksek saflık
- Kullanıma dayanıklı
- Yarım iletken endüstrisi
- Epitaxial katman
- MOCVD
- Termal şok direnci
- Özelleştirilebilir seçenekler