 |
Yüksek Saflık ve Yüksek Sıcaklığa Dayanıklı
Ürün ayrıntıları:
| Menşe yeri: | Çin |
| Marka adı: | ZMSH |
Ödeme & teslimat koşulları:
| Min sipariş miktarı: | 1 |
|---|
|
Detay Bilgi |
|||
| Malzeme Saflığı: | % 99.999 | Erime noktası: | 1730 ° C (yumuşatma noktası) |
|---|---|---|---|
| Maksimum gofret kapasitesi: | 25 gofret (standart boyut) | asit direnci: | Sülfürik, nitrik, hidroklorik asitlere dirençli (HF hariç) |
| Korozyon Direnci: | 30 × seramiklerden daha yüksek, paslanmaz çelikten 150 × daha yüksek | Uyumlu süreçler: | Yarıiletken difüzyonu, tavlama, fotovoltaik doping, laboratuvar reaksiyonları |
| Vurgulamak: | Yüksek saflıklı Kuvars Wafer Boat,Özelleştirilebilir Kuvars Wafer Boat,Yüksek sıcaklığa dayanıklı Kuvars Wafer Boat |
||
Ürün Açıklaması
Ürün Tanıtımı
Bir tekne veya taşıyıcı olarak da bilinen bir wafer teknesi, waferleri tutmak, aktarmak ve konumlandırmak için yarı iletken üretiminde kritik bir araçtır.Yüksek sıcaklıklar (> 1000°C) gibi aşırı koşullara dayanabilmesi için tasarlanmıştır., kimyasal korozyon ve elektrostatik boşaltma (ESD) çeşitli işlemler sırasında wafer güvenliğini sağlamak için.
İlke
- Hayır.Düzleştirme ve sabitleme:
Teknedeki konumlandırma delikleri, wafer kasetindeki iğnelerle hizalandırılır, bu da manuel manipülasyon olmadan parti aktarımını sağlar.
İkili katmanlı yuvalar (üst ve alt) termal döngü sırasında (örneğin, kızartma) waferleri korur.
- Hayır.Termal Stres Yönetimi:
Düşük termal genişleme malzemesi (0,5×10−6/°C) sıcaklık dalgalanmaları altında kurşunu en aza indirir.
Bal kovanı yapısı termal gerilimi eşit bir şekilde dağıtır.
Süreç Uyumluluğu:
Slot geometrileri (örneğin, I-tip, V-tip) gaz fazlı reaktant akışını sağlarken değişen wafer kalınlıklarını (300-800 μm) barındırır.
Elmas şeklindeki kesit, iki yönlü robot yüklemesini sağlar ve verimi artırır.
Güvenlik ve Koruma:
tampon bileşenleri (bağımlar, kauçuk yastıklar) wafer yerleştirme sırasında mekanik şokları absorbe eder.
Nitrojen temizleme kalıntıları ortadan kaldırır ve kirliliği önler
Özellikleri
Erimiş silikon cam, silikon dioksitten (SiO2) yapılan özel bir endüstriyel camdır.
- - Hayır.Yüksek sıcaklığa dayanıklı:
Yumuşatma noktası: ~ 1730°C.
1100~1250°C'de sürekli çalışır ve 1450°C'ye kadar kısa süreli maruz kalmaya dayanır.
- - Hayır.Kimyasal Inertlik:
Çoğu aside (hidroflorik asit hariç) dirençlidir.
Korozyona dayanıklılığı seramikten 30 kat daha yüksek ve paslanmaz çelikten 150 kat daha yüksek.
Aşırı termal koşullarda istikrarını korur ve diğer malzemeleri geçer.
- Isı Denge:
Çok düşük termal genişleme katsayısı (~ 5.5×10−7/°C).
Termal şoktan (örneğin 1100°C'ye kadar ısıtma ve suda söndürme) kurtulur.
- - Hayır.Optik Şeffaflık:
Ultraviyoleten (UV) kızılötesiye (IR) geniş spektral iletim.
Görünür ışık geçirgenliği: >95%.
UV iletimliliği, 185~250 nm aralığında % 85'e ulaşır.
- - Hayır.Elektrik yalıtımı:
Direnci sıradan camdan 10.000 kat daha yüksek.
Yüksek sıcaklıklarda bile mükemmel dielektrik özellikleri.
Başvurular
Fotovoltaik:Silikon plaka termal işleme ve doping.
Ar-Ge:Laboratuvar ölçekli yüksek sıcaklıklı reaktörler ve malzeme testleri