Yarıiletken Endüstrisinde Yonga İşleme için Seramik Robotik Kollar
Yarıiletken ürünler, sıfır kontaminasyon sağlamak için son derece temiz bir üretim ortamı talep eder. Üretim, işçilerin partikül ve elektrostatik deşarjı önlemek için antistatik giysiler giydiği, yüksek kontrollü temiz odalarda gerçekleştirilir.
Yarıiletkenler son derece hassastır—bazı yongalar ultra incedir, sadece milimetrenin kesirlerini veya daha da ince ölçülerdedir—bu da nazik işlemeyi zorunlu kılar. İşlem boyunca, yarıiletken bileşenlerle temas eden tüm işleme araçları, fikstürler ve kaplar katı standartları karşılamalıdır. Bu araçlar yongaları kirletmemeli ve aynı zamanda asitlere, alkalilere ve ısıl işleme dayanmalı, uzun süreli dayanıklılık sağlamalıdır.
Yarıiletken Kullanımı için Seramik Robotik Kollara Giriş
Malzeme Seçimi:
Çoğu yarıiletken robotik kol %99 alümina seramikten yapılmıştır.
Alümina Seramiğin Özellikleri:
Yapısal bir seramik olan alümina seramik, elmastan sonra ikinci en sertliğe sahiptir ve aşınma direncinde çelik ve krom çeliğinden önemli ölçüde daha iyi performans gösterir. Yüksek sıcaklık toleransı (1600 °C'ye kadar), mükemmel aşınma ve korozyon direnci, düşük sürtünme ve hafif bir yapı sunar—bu da onu yarıiletken uygulamaları için ideal hale getirir.
Adlandırma ve İşlev:
Seramik çatallar veya yonga transfer son efektörleri olarak da bilinen bu alümina seramik robotik kollar, yonga işleme robotlarına monte edilen bileşenlerdir. Robotun “elleri” olarak işlev görürler, silikon yongaları güvenli bir şekilde belirlenen konumlara aktarırlar. Yongalarla doğrudan temas ettikleri için, hafif yapıları robotik ekipman üzerindeki yükü azaltmaya yardımcı olur ve hizmet ömrünü uzatır.
Seramik Robotik Kol Çeşitleri:
-
Sıkıştırma tipi
-
Destek tipi
-
Vakum emme tipi
-
Bernoulli tipi
Seramik Robotik Kolların Üretim Süreci
-
Toz Hazırlama: Yüksek saflıkta alümina tozu, küresel granüller oluşturmak için püskürtme granülasyonundan geçer.
-
Şekillendirme: Granüller, bir yeşil gövde oluşturmak için kuru preslenir ve daha sonra soğuk izostatik presleme kullanılarak şekillendirilir.
-
Yoğunlaştırma: Şekillendirilmiş gövde, parçacıklar arasındaki boşlukları gidererek ve yoğun bir seramik katı oluşturarak yüksek sıcaklıklarda sinterlenir.
-
Taşlama ve Yüzey İşleme: Döner taşlama taşları yüzey oksitlerini ve safsızlıkları giderir.
-
Hassas İşleme: İç ve dış yüzey taşlama, parçayı daha da rafine eder. CNC işleme, boyutsal doğruluğu ve yüzey pürüzsüzlüğünü sağlar.
Yapı ve İşlevsellik
Seramik kol hava kanalları ve havalandırma olukları içerir. Vakum uygulandığında, yarıiletken parçaları nazikçe kavramak için emiş oluşturur—mekanik gerilimi, çizikleri veya ince yongaların yontulmasını önler.
Seramik Kolların Metal Kollara Göre Avantajları
-
Üstün Korozyon Direnci: Seramik kollar, yarıiletken işleme sırasında daha uzun hizmet ömrü sunarak hem asidik hem de alkali ortamlara metal kollardan daha iyi dayanır.
-
Kontaminasyon Yapmaz: Seramikler diğer maddelerle reaksiyona girmez, ince parçacık bırakmaz, artık statik yük taşımaz ve metal iyonları salmaz—yongaların kontamine kalmamasını sağlar.
-
Minimum Isı Deformasyonu: Isıl işlemler sırasında, seramik kollar şekillerini metallerden daha iyi koruyarak hassas yarıiletken bileşenlerin deformasyonunu azaltır.
Seramik Malzemelerin Daha Geniş Uygulamaları
Yonga işleme robotik kollarının ötesinde, seramiklerin özellikleri—yalıtım, yüksek sıcaklık direnci, asit ve alkali direnci ve kimyasal kararlılık—onları zorlu ortamlarda kullanılan diğer kritik bileşenlerin üretimi için ideal hale getirir. Metallerin ve plastiklerin başarısız olduğu durumlarda kullanılabilirler, zorlu yarıiletken süreçlerde performans ve temizlik sağlar.
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!