Kuvars Foküs Halkaları: Yarım iletken plazma kazımı için kritik bir tüketim malzemesi

Kuvars odak halkalarıGenellikle yüksek saflıkta erimiş kuvarsdan üretilen yarı iletkenli plazma kazma ekipmanlarında kullanılan kritik tüketilebilir bileşenlerdir.Plazma dağılımını kontrol etmekte ve wafer yüzeyinde tutarlı kazım performansını sürdürmede önemli bir rol oynarlar..

Temel işlevi, plazmi, özellikle wafer kenarının etrafında sınırlamak ve yönlendirmek, tekdüze kazım hızlarına ve hassas kritik boyut kontrolüne ulaşmaya yardımcı olmaktır.

Kuvars Foküs Halkalarının Ana Fonksiyonları

Plazma kazımı sırasında, kuvars odak halka birkaç önemli işlev yerine getirir.

1Plasma Tekdüzeliğini Geliştirmek

Foküs halkasının geometri ve dielektrik özellikleri, levha kenarındaki elektrik alanını ve plazma dağılımını etkiler.Yüzük, tüm wafer boyunca tutarlı kazım oranlarını ve kritik boyutları korumaya yardımcı olur..

Bu, yarı iletken cihazların küçülmeye devam etmesi ve işlem toleranslarının daha talepkâr hale gelmesi nedeniyle giderek daha önemli hale geliyor.

2Kritik ekipman bileşenlerini korumak

Odaklanma halkası, enerjik plazma, reaktif gazlar ve iyon bombardımanına doğrudan maruz kalmayı emen değiştirilebilir bir koruyucu bileşen olarak çalışır.

Elektrostatik çak (ESC) gibi altta yatan bileşenleri koruyarak, odak halkası ekipman aşınmasını azaltmaya, bileşen hizmet ömrünü uzatmaya ve bakım maliyetlerini düşürmeye yardımcı olur.

3Süreç Temizliğini Desteklemek

Yüksek saflıklı erimiş kuvars, plazma işleme sırasında kirlenme riskini azaltan son derece düşük miktarda metal kirlilik içerir.

Kuvars odak halkaları, wafer çevresindeki plazma etkileşimini kontrol etmeye ve kritik alanlarda istenmeyen çöküntüyü veya polimer birikmesini sınırlamaya yardımcı olur.Bu, daha temiz bir süreç ortamına katkıda bulunur, wafer kalitesinin iyileşmesi ve daha istikrarlı üretim verimleri.

Erimiş Kuvars Neden Kullanılır?

Odak halkaları, kuvars, alümina, silikon karbid ve yttria tabanlı seramik de dahil olmak üzere çeşitli gelişmiş malzemelerden üretilebilir.Erimiş kuvars, saflığın dengeli bir kombinasyonu nedeniyle yaygın olarak kullanılmaya devam ediyor, termal kararlılık, dielektrik özellikleri ve süreç uyumluluğu.

Çok yüksek saflık

Yarım iletken sınıfı erimiş kuvars, 99.998% veya daha yüksek bir saflığa ulaşabilir.Yarım iletken cihaz performansını ve üretim verimini korumak için gerekli olan.

Uygun plazma ve kimyasal uyumluluk

Erimiş kuvars, birçok yarı iletken işlem ortamında iyi bir istikrar sağlar.

Flüor içeren plazma ortamlarında, kuvars kademeli olarak tüketilir ve bu nedenle değiştirilebilir bir süreç tüketicisi olarak ele alınmalıdır.

Mükemmel Termal Dayanıklılık

Erimiş kuvars, yüksek işlem sıcaklıklarına ve hızlı sıcaklık değişikliklerine dayanabilir.Çok düşük ısı genişleme katsayısı, tekrarlanan ısıtma ve soğutma döngüleri sırasında boyutsal istikrarı korumaya yardımcı olur.

Sabit Dielektrik Özellikleri

Dielektrik sabitleri yaklaşık olarak 3'tür.8, erimiş kuvars, wafer kenarının etrafındaki elektrik alanı dağılımını etkileyebilir. Bu, plazma davranışını kontrol etmek ve kazım tekdüzeliğini geliştirmek için uygun hale getirir.

Hızlı üretim gereksinimleri

Kuvars odak halkaları, boyutları, profili ve yüzey durumları doğrudan plazma dağılımını ve süreç istikrarını etkileyebildiği için son derece hassas işleme gerektirir.

Tipik üretim süreçleri şunları içerebilir:

• CNC işleme
• Beş eksenli hassas işleme
• Düzeltme ve cilalama
• Kenar işleme ve çemberleme
• Ultrasonik temizlik
• Yüksek saflıklı temizlik ve temiz oda ambalajı
• Boyut ve yüzey kalitesi denetimi

Ekipman modeline ve işlem gereksinimlerine bağlı olarak, kritik boyut toleransları ±0,02 mm veya daha sıkıya ulaşabilir.Seçilen hassas yüzeyler de son derece düşük kabalık seviyelerine cilalanabilir.

Uygulamalar ve Ekipman Düzgünlüğü

Kuvars odak halkaları, dielektrik kazım, iletken kazım ve diğer kuru kazım işlemleri de dahil olmak üzere yarı iletken levha üretimi için plazma kazım sistemlerinde yaygın olarak kullanılır.

MXP + ve Centura gibi seçili Uygulamalı Malzemeler sistemleri de dahil olmak üzere çeşitli kazma platformları için özel yedek parçalar olarak üretilebilirler.Ekipmanın uyumluluğu her zaman orijinal çizime göre onaylanmalıdır., parça numarası, oda konfigürasyonu ve çalışma koşulları.

Özel Kuvars Odak Düğmesi Üretimi

MaterialSemi, yarı iletken işleme ekipmanları için özelleştirilmiş yüksek saflıklı kuvars odak halkaları ve diğer hassas kuvars bileşenleri tedarik eder.

Kişisel olarak sağlanabilir:

• Teknik çizimler
• Orijinal parça numaraları
• Ekipman modelleri
• Malzeme saflığı gereksinimleri
• Boyut toleransları
• Yüzey kabalığı özellikleri
• Temizlik ve ambalajlama standartları

Hassas işleme, sıkı kalite kontrolü ve yüksek saflıklı malzeme seçimi ile kuvars odak halkaları, zorlu plazma kazım uygulamalarında istikrarlı bir performans sağlayabilir.