Yarı iletkenler için safir kaldırma iğnesi Keramik kaldırma iğneleri Yüksek saf safır iğneleri

Yarı iletkenler için safir kaldırma iğnesi Keramik kaldırma iğneleri Yüksek saf safır iğneleri

Sapphire asansör iğnesi özet

Sapphire kaldırma iğneleri, geniş çapta kullanılan hassas mühendislik bileşenleridir.

Yarım iletken işleme ekipmanları, özellikle wafer işleme, epitaksyalMOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Depozisyonu) ve diğer yüksek sıcaklık, vakum,ya da koroziv ortamlarTek kristal alüminyum oksitten (Al2O3), sentetik safir olarak da bilinen bu asansör çubukları, olağanüstü sertlikleri, termal istikrarları, kimyasal dayanıklılıkları,ve dayanıklılığı.

Sapphire asansörünün özellikleri

Safir asansör iğneleri genellikle özel olarak tasarlanır

Safir Asansörlerin Avantajları

a.Yüksek Sıcaklığa Dayanıklı

Sapfir, mekanik dayanıklılığını 1.500 ° C'yi aşan sıcaklıklarda korur ve bu nedenle diğer malzemelerin çarpılabileceği, oksidlenebileceği veya bozulabileceği epitaksiyal reaktörler ve deppozisyon odaları için uygundur.

b. Kimyasal Dayanıklılık

Sapfir, H2, NH3 ve HF gibi reaktif ve koroziv gazlarda kimyasal olarak inerttir ve CVD ve kazma ortamlarında uzun süreli performans sağlar.

c. Aşırı Sertlik

Yüksek yüzey sertliği, wafer temasından ve mekanik tahrikten kaynaklanan aşınmaya ve çiziklere karşı dayanıklıdır.

d. Boyut hassasiyeti

Sapphire sıkı toleranslara (± 1 μm) işlenebilir, bu da tutarlı wafer kaldırma yüksekliğini, konumlandırma doğruluğunu ve hizalama güvenilirliğini sağlar.

e.Düşük parçacık üretimi

Termal döngü altında dökülebilecek veya gaz çıkarabilecek kaplı seramik veya metallerin aksine, safir, temiz oda ve ultra saf süreç ortamları için kritik olan partikül üretmez.

f.Uzun hizmet ömrü

Sapphire'ların aşınma direnci ve aşırı koşullar altında istikrarı, daha düşük bakım sıklığına ve daha uzun ekipman çalışma süresine katkıda bulunur.

Safir lif iğnesinin fiziksel görüntüsü

Safir Asansörlerin Uygulamaları

Sapphire kaldırma iğneleri, waferlerin üretim sırasında hassas bir şekilde ele alınması gereken bir dizi yarı iletken ve gelişmiş malzeme işleminde kullanılır.

a. MOCVD Sistemleri

• GaN, GaAs ve InP tabanlı bileşik yarı iletken büyüme

• LED ve lazer diyot üretimi

• Safir levhalar ve epi hazır substratlar

b.PECVD ve LPCVD reaktörleri

• Plazma bazlı ince film çöküntüsü sırasında wafer aktarımı

• Mikroelektronik, güneş hücreleri, MEMS ve fotoniklerde kullanılır

c.Termal işleme fırınları

• Yüksek sıcaklıkta kızartma, oksidasyon veya difüzyon aşamaları

d.Wafer Denetimi ve İşleme

• Geçici olarak levhaları destekleyen veya manipüle eden mekanik sistemler

e.Çizme ve Temizlik Odaları

• Kimyasal direnç, vafelerin önceden temizlenmesi veya soyulması sırasında kritik olduğunda

S&A

S:Safir iğne satın alırken hangi önemli faktörler dikkate alınmalıdır?

A:Uygulama Senaryosu

• Maddi Koşullar: Yüksek sıcaklıklar veya koroziv ortamlar gibi asansör iğneleri maruz kalacak çevresel koşulları belirleyin.
• Amaç: Özel uygulamaya göre uygun bir tasarım seçin (örneğin spektroskopik ölçüm, hassas aletler vb.).

Boyutlar ve Spesifikasyonlar

• Diametre ve Uzunluk: Desteklenen veya kaldırılan numunelerin boyutlarına göre uygun çap ve uzunluğu seçin.
• Tolerans Gereksinimleri: Doğruluğu korumak için asansör iğneleri uygulamanızın boyut tolerans gereksinimlerini karşıladıklarından emin olun.

İlgili Ürün Tavsiyeleri

safir çubukları