Ergitilmiş Kuvars Gofretleri Gelişmiş Uygulamalar için Yüksek Saflıkta Termal Kararlılık ve Optik Netlik

Ergitilmiş Kuvars Gofretlerine Genel Bakış

Kuvarsın (SiO2) amorf fazı olan “Ergitilmiş Silis” veya “Ergitilmiş Kuvars”. Borosilikat cam ile karşılaştırıldığında, ergitilmiş silis katkı maddesi içermez; dolayısıyla saf hali olan SiO2'de bulunur. Ergitilmiş silis, normal cama kıyasla kızılötesi ve ultraviyole spektrumunda daha yüksek geçirgenliğe sahiptir. Ergitilmiş silis, ultra saf SiO2'nin eritilip yeniden katılaştırılmasıyla üretilir. Öte yandan sentetik ergitilmiş silis, SiCl4 gibi silisyumca zengin kimyasal öncüllerden yapılır; bunlar gaz haline getirilir ve ardından bir H2 + O2 atmosferinde oksitlenir. Bu durumda oluşan SiO2 tozu, bir alt tabaka üzerinde silise ergitilir. Ergitilmiş silis blokları gofretlere kesilir ve ardından gofretler son olarak parlatılır.

Ergitilmiş Kuvars Gofretlerinin Temel Özellikleri ve Faydaları

• Ultra yüksek saflık (≥%99,99 SiO₂)
  Yarı iletkenlerde ve fotonikte kontaminasyona duyarlı işlemler için idealdir.

• Geniş sıcaklık aralığı
  Kriyojenik ortamlardan >1100°C termal ortamlara kadar deformasyon olmadan dayanır.

• Olağanüstü UV ve IR geçirgenliği
  Derin ultraviyole (DUV)'den yakın kızılötesine (NIR) kadar mükemmel optik netlik sunar.

• Düşük termal genleşme
  Termal döngü altında boyutsal kararlılık sağlar, bileşen stresini azaltır.

• Kimyasal atalet
  Çoğu asit, baz ve çözücüye karşı dayanıklıdır; zorlu işlem koşulları için mükemmeldir.

• Yüzey kalitesi kontrolü
  Optik ve MEMS uygulamaları için ultra pürüzsüz, çift taraflı cilalı formatlarda mevcuttur.

Üretim Süreci

Ergitilmiş kuvars gofretler aşağıdaki adımlarla üretilir:

1. Ham Madde Seçimi: Yüksek saflıkta doğal kuvars kumu veya kristalleri seçilir ve saflaştırılır.

2. Ergitme ve Füzyon: Kuvars granülleri, kabarcıkları ve safsızlıkları gidermek için kontrollü bir atmosferde elektrikli fırınlarda ~2000°C'de eritilir.

3. Katılaşma ve Blok Oluşturma: Eritilmiş malzeme katı külçeler veya bloklar halinde soğutulur.

4. Gofret Dilimleme: Hassas tel testereler, katılaşmış ergitilmiş kuvarsı gofret boşluklarına keser.

5. Laplama ve Parlatma: Gofret yüzeyleri öğütülür, laplanır ve tam kalınlık ve düzlük elde etmek için parlatılır.

6. Temizleme ve Denetim: Son gofretler, Sınıf 100/1000 temiz odalarda ultrasonik olarak temizlenir ve kusurlar açısından denetlenir.

Uygulamalar

Ergitilmiş kuvars gofretler, optik şeffaflık, termal dayanıklılık ve kimyasal direnç gerektiren endüstrilerde kullanılır:

Yarı iletkenler

• Yüksek sıcaklık işlemlerinde taşıyıcı gofretler

• Difüzyon ve iyon implantasyon maskeleri

• Dağlama, biriktirme ve denetim platformları

Fotonik ve Optik

• Optik kaplamalar için alt tabakalar

• Lazer pencereleri ve ışın ayırıcılar

• Hassas UV ve IR optik bileşenleri

Laboratuvar ve Araştırma

• Analitik cihazlar için numune taşıyıcıları

• Mikroakışkan ve kimyasal analiz platformları

• Yüksek sıcaklık reaksiyon alt tabakaları

LED ve Güneş

• LED çip imalatı için fırın gofretleri

• Fotovoltaik hücre Ar-Ge'sinde alt tabakalar

Mevcut Özellikler

Teknik Avantajlar

• Cam benzeri yapı kristal kuvarsda bulunan çift kırılmayı ortadan kaldırır

• Kristal ekseni yok—optik uygulamalarda izotropik davranış için idealdir

• Gözeneksiz, pürüzsüz yüzey daha iyi temizlik ve kaplama yapışması için

• Yapıştırma, dilimleme ve fotolitografi için uygundur

• Düşük OH içerikli sınıflar geliştirilmiş UV dayanıklılığı için mevcuttur

Sıkça Sorulan Sorular (SSS)

S1: Ergitilmiş kuvars ile ergitilmiş silis arasındaki fark nedir?
Her ikisi de amorf SiO₂'ye atıfta bulunur, ancak “ergitilmiş silis” genellikle sentetik olarak üretilmiş yüksek saflıkta cam anlamına gelirken, “ergitilmiş kuvars” doğal kuvarsdan türetilir. Özellikleri çoğu uygulamada neredeyse aynıdır.

S2: Ergitilmiş kuvars gofretler yüksek vakum ortamlarında kullanılabilir mi?
Evet, ergitilmiş kuvars son derece düşük gaz salınımına ve yüksek termal kararlılığa sahiptir, bu da onu vakum sistemleri ve uzay uygulamaları için ideal hale getirir.

S3: Bu gofretler UV lazer uygulamaları için uygun mu?
Kesinlikle. Ergitilmiş kuvars, derin UV aralığında (yaklaşık ~185 nm'ye kadar) mükemmel geçirgenlik sergiler, bu da onu DUV lazer optikleri ve fotomask alt tabakaları için çok uygun hale getirir.

S4: Özelleştirme sunuyor musunuz?
Evet, çap, kalınlık, yüzey kalitesi ve lazer kesim desenleri dahil olmak üzere müşteri gereksinimlerine göre gofretler üretiyoruz.