 |
2 inç 4 inç 6 inç wafer işleme ve özel boyut için SiC seramik tepsisi plaka
Ürün ayrıntıları:
| Marka adı: | ZMSH |
|
Detay Bilgi |
|||
| Saflık: | 99.9% | Renk: | Siyah |
|---|---|---|---|
| yoğunluk: | 3,14g/cm3 | Esneklik gücü: | 410Mpa |
| Gencin modülü: | 430GPa | Poisson oranı: | 0.17 |
| kırılma tokluğu: | 2~3MPa m1/2 | Termal Genleşme katsayısı: | 4.1x10-6 [Normal sıcaklık ~ 800°C] |
| Vurgulamak: | 2 inçlik SiC seramik tepsiler.,Özel boyutlu SiC seramik tepsiler,4 inçlik SiC seramik tepsiler. |
||
Ürün Açıklaması
2 inç 4 inç 6 inç wafer işleme ve özel boyutlar için SiC seramik tepsiler.
SiC seramik tepsilerinin özetleri
SiC (Silikon Karbid) seramik tepsiler, özellikle yarı iletken endüstrisinde yüksek performanslı uygulamalar için tasarlanmış özel bileşenlerdir.Bu tepsiler yarı iletken cihazların üretim sürecinde kritik bir rol oynar, silikon levhaların işlenmesi için istikrarlı ve güvenilir bir platform sağlar.SiC seramik tepsiler, wafer işleminin çeşitli aşamalarında gereken yüksek sıcaklıklara dayanabilir, epitaksi, difüzyon ve oksidasyon gibi.
SiC tepsileri, termal özelliklerinin yanı sıra dikkate değer mekanik dayanıklılık gösterir, bu da deformasyon veya çatlak olmaksızın ağır substratları desteklemelerini sağlar.Mükemmel kimyasal dirençleri, yarı iletken üretim süreçlerinde sıklıkla karşılaşılan koroziv malzemelerin varlığında dayanıklılığı sağlar.
Ayrıca, SiC seramik tepsiler, wafer yüzeyinde tutarlı işleme koşullarını korumak için gerekli olan daha iyi ısı dağılımına katkıda bulunur.Bu özellik kusurları en aza indirmeye yardımcı olur ve yarı iletken cihazlarının genel kalitesini artırır.
Bu çok yönlü tepsiler ayrıca belirli üretim gereksinimlerini karşılamak için çeşitli boyutlarda ve şekillerde özelleştirilebilir, bu da onları yarı iletken endüstrisinde vazgeçilmez bir varlık haline getirir.Ne zaman doğruluk ve güvenilirlik çok önemli.
SiC seramik tepsisinin özellikleri
Yüksek termal kararlılık:
SiC seramik tepsiler aşırı sıcaklıklara dayanabilir, bu da onları sinterleme ve yarı iletken işleme gibi yüksek sıcaklıklı uygulamalar için uygun hale getirir.
Mükemmel mekanik dayanıklılık:
Üstün bir dayanıklılığa ve sertliğe sahiptirler, bu da dayanıklılık ve uzun ömrü sağlamak için deformasyon olmaksızın ağır yüklere dayanmalarını sağlar.
Kimyasal direnci:
SiC tepsileri korozyona ve kimyasal saldırıya karşı son derece dayanıklıdır ve özellikle kimyasal işleme ve yarı iletken üretimine yönelik agresif ortamlarda kullanılmak için idealdir.
Isı iletkenliği:
Bu plakalar iyi bir ısı iletkenliği gösterir, bu da eşit sıcaklık kontrolü gerektiren süreçlerde gerekli olan verimli ısı dağılımını teşvik eder.
Hafif:
Güçlerine rağmen, SiC seramik tepsiler nispeten hafiftir ve üretim süreçleri sırasında daha kolay kullanımı ve taşınmasını kolaylaştırır.
Elektrik yalıtımı:
SiC malzemeleri mükemmel elektrik yalıtım özellikleri sağlar, böylece elektrik iletkenliğinin en aza indirgenmesi gereken elektronik uygulamalarda kullanılmak için uygundur.
Düşük Termal Genişleme:
Düşük termal genişleme katsayısı, değişen sıcaklık koşullarında boyutsal istikrarı sağlar ve çarpma veya çatlama riskini azaltır.
| Üreticisi | ASUZAC | ASUZAC | Şirket A | B Şirketi | C Şirketi | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Ürün Adı | ASiC | SiC3N | ||||
| Üretim yöntemi | Normal basınçla sinterleme | Normal basınçla sinterleme | Sıcak Presleme | CVD | Si-SiC | |
| yoğunluk | g·cm3 | 3.15 | 3.18 | 3.15 | 3.21 | 3.05 |
| Vicker sertliği | 28 | 28 | 22 | 26 | - Evet. | |
| Yumruk gücü | Mpa | 410 | 450 | 600 | 590 | 220 |
| Elastiklik | Ortalama | 430 | 430 | 390 | 450 | 280 |
| Kırılma sertliği | Mpa/cm^0.5 | 2.5 | 2.5 | 4.4 | - Evet. | - Evet. |
| Termal genişleme | E-6/K | 4.1 | 4.1 | 4.3 | 4 | 4.8 |
| Isı iletkenliği | W/m•K | 170 | 140 | 230 | 250 | 225 |
Özelleştirilebilirlik:
SiC seramik tepsileri, belirli uygulama ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirmeyi sağlayan çeşitli boyutlarda ve şekillerde üretilebilir.
Bu özellikler, SiC seramik tepsileri çeşitli endüstrilerde, özellikle yarı iletken imalatında, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve kimyasal işleme önemli bir bileşen haline getirir.
SiC seramik tepsiler için uygulamalar
Yarım iletken üretimi:
SiC seramik tepsileri, epitaksi, difüzyon ve oksidasyon da dahil olmak üzere çeşitli imalat süreçleri sırasında silikon plakaları desteklemek için yaygın olarak kullanılır.Yüksek termal kararlılıkları ve mekanik dayanıklılıkları, en iyi işleme koşullarını sağlar ve kusurları en aza indirir.
Yüksek sıcaklıkta Sinterleme:
Gelişmiş seramik ve malzemelerin üretiminde, SiC tepsileri yüksek sıcaklıkta sinterleme işlemlerinde kullanılır.Deformasyon yapmadan aşırı koşullara dayanabilen güvenilir bir platform sağlamak.
Kimyasal işleme:
Mükemmel kimyasal dayanıklılıkları nedeniyle, SiC seramik tepsiler laboratuvarlarda ve endüstriyel ortamlarda agresif kimyasalları kullanmak için idealdir.Destilasyon sütunları, ve koroziv maddelere karşı dayanıklılık gerektiren diğer ekipmanlar.
Elektronik ve Elektriksel Bileşenler:
SiC tepsileri elektronik cihazların ve bileşenlerin üretimi için substrat olarak kullanılır.İzole edici özellikleri ve ısı iletkenliği performans ve güvenilirliği korumak için çok önemlidir.
Optik Uygulamalar:
Optik bileşen imalatında, SiC tepsileri, yüksek kaliteli son ürünleri sağlamak için hassas sıcaklık kontrolü ve istikrar gerektiren malzemeleri desteklemek ve işlemek için kullanılır.
Havacılık ve Otomobil Endüstrisi:
SiC seramik tepsiler, hafif ve yüksek dayanıklılık özellikleri nedeniyle havacılık ve otomotiv uygulamalarında kullanılır.Özellikle termal yönetim ve korozyon direnci gerektiren bileşenlerde.
Araştırma ve Geliştirme:
Ar-Ge ortamlarında, SiC tepsileri genellikle yüksek sıcaklıklar veya koroziv kimyasallar içeren deneysel kurulumlar için kullanılır ve yenilikçi malzemeler için sağlam bir platform sağlar.
SiC seramik tepsilerinin sergisi