 |
Seramik Disk Temizleme-Yumuşatma Entegre Makine Otomatik Yarım iletken Endüstrileri
Ürün ayrıntıları:
| Menşe yeri: | Çin |
| Marka adı: | ZMSH |
|
Detay Bilgi |
|||
| Boyutları: | 7740 × 3390 × 2300mm (L × W × H) | Güç kaynağı: | AC380V, 50Hz, Toplam Güç 90kW |
|---|---|---|---|
| Pnömatik Besleme: | 2m³/s, 0.4-0.5mpa yağsız kuru hava | Su temini: | 2t/h @0.3MPA, ≥12mΩ · cm direnç |
| Vurgulamak: | Yarım iletken endüstrisi Temizlik Balmumu Entegre Makine,Seramik Disk Temizleme Balmumu Entegre Makine |
||
Ürün Açıklaması
Ürün Genel Görünümü
Bu seramik disk temizleme ve cilalama entegre makinesi, bir seramik disk temizleyicisini çift seramik disk montajı ile birleştirir.Saphir ve yarı iletken endüstrilerinde yüksek verimli temizlik ve wafer ağızlandırma için tasarlanmıştır, istikrarlı 99.9% verim oranına ulaştı.
Teknik özellikler
| Parametreler | Değer |
| Boyutları | 7740×3390×2300mm (L×W×H) |
| Güç kaynağı | AC380V, 50Hz, toplam güç 90KW |
| Pnömatik besleme | 2m3/h, 0,4-0,5MPa Yağsız Kuru Hava |
| Su temini | 2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm Direnci |
Çalışma prensibi
Seramik disk temizleme aşaması
-
Kesin Temizlik: Seramik disklerden mikron seviyesinde kirletici maddeleri çıkarmak için iyonize su (≥12MΩ·cm) ile ultrasonik temizlik kullanır.
-
Kurutma Sistemi: Yüksek verimli hava bıçakları ve vakum kurutma sıfır kalıntı nem sağlar.
Otomatik Balmumu İşlemleri
-
Görüş Düzenlemesi: CCD kameraları disk yüzeyinin koordinatlarını tarar, konumlandırma doğruluğu ±0.02mm'ye ulaşır.
-
Kontrollü Balmumu Depozisyonu: Programlanabilir balmumu dağıtım başlıkları, wafer başına 0.8g ± 0.05g balmumu uygulayabilir.
-
Basınç Optimizasyonu: Pnömatik aktüatörler, wafer montajı sırasında 5-10N/cm2 eşit temas basıncını korur.
Entegre Kontrol
-
Senkronize Operasyon: PLC, eşzamanlı işleme olanak sağlayan temizlik modülünü ve çift balmumu istasyonunu koordine eder (Max. 30 disk/saat).
-
Kaliteli Geri bildirim: Gerçek zamanlı kalınlık sensörleri mum tabakasının tekdüzeliğini tespit eder ve sapmalar %3'ü aşarsa parametreleri otomatik olarak ayarlar.
Ana Avantajları
-
Enerji Verimliliği: Saf su geri dönüşüm oranı > 80%, balmumu tüketimi 0,8g/wafer, disk başına %35 daha düşük enerji
-
Akıllı Bağlantı: Tam süreç verilerinin izlenebilirliği için MES/ERP ile uyumludur (kalınlık/basınç/zaman)
-
Ölçeklenebilirlik: Φ300-650mm standart olmayan diskler için özelleştirilebilir aletler ve tarifler
Üretim Kapasitesi
| Wafer Boyutu | Disk çapı | miktarı | Döngü Zamanı |
| 4 inç. | Φ485mm | 11 adet | 5 dakika/disk |
| 4 inç. | Φ576mm | 13 adet | 6 dakikalık/disk |
| 6 inç. | Φ485mm | 6 adet | 3 dakikalık/disk |
| 6 inç. | Φ576mm | 8 adet | 4 dakikalık/disk |
| 8 inç. | Φ485mm | 3 adet | 2 dakika/disk |
| 8 inç. | Φ576mm | 5 adet. | 3 dakikalık/disk |
Başvurular
Tam süreçli seramik disk işleme: Tek makinde temizlik→kurutma→balmumu
Silikon karbid (SiC), silikon (Si), galiyum nitrit (GaN) gibi yarı iletken malzemelerin işlenmesinde kullanılır ve aynı zamanda safir, seramik, kristal,MEMS, ve optik ürünler.
S&A
S1: Verim oranını nasıl sağlayabiliriz?
A1: Seramik diskler için özel görme sistemi, gerçek zamanlı hizalama doğruluğu ±0.02mm'ye ulaşır.
S2: Seramik disk temizlemesinin su tüketimi?
A2: Su geri dönüşüm oranı > 80%, tüketim ≤ 0.5L/disk.
S3: Wafer boyutunun hızlı bir şekilde nasıl değiştirileceği?
A3: Entegre makinenin akıllı armatür kütüphanesi, HMI seçimi yoluyla otomatik olarak aletleri değiştirir (değişim süresi <3 dakikadır).