Parametreler	Değer
Boyutları	7740×3390×2300mm (L×W×H)
Güç kaynağı	AC380V, 50Hz, toplam güç 90KW
Pnömatik besleme	2m3/h, 0,4-0,5MPa Yağsız Kuru Hava
Su temini	2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm Direnci

Çalışma prensibi

Seramik disk temizleme aşaması

Kesin Temizlik: Seramik disklerden mikron seviyesinde kirletici maddeleri çıkarmak için iyonize su (≥12MΩ·cm) ile ultrasonik temizlik kullanır.
Kurutma Sistemi: Yüksek verimli hava bıçakları ve vakum kurutma sıfır kalıntı nem sağlar.

Otomatik Balmumu İşlemleri

Görüş Düzenlemesi: CCD kameraları disk yüzeyinin koordinatlarını tarar, konumlandırma doğruluğu ±0.02mm'ye ulaşır.
Kontrollü Balmumu Depozisyonu: Programlanabilir balmumu dağıtım başlıkları, wafer başına 0.8g ± 0.05g balmumu uygulayabilir.
Basınç Optimizasyonu: Pnömatik aktüatörler, wafer montajı sırasında 5-10N/cm2 eşit temas basıncını korur.

Entegre Kontrol

Senkronize Operasyon: PLC, eşzamanlı işleme olanak sağlayan temizlik modülünü ve çift balmumu istasyonunu koordine eder (Max. 30 disk/saat).
Kaliteli Geri bildirim: Gerçek zamanlı kalınlık sensörleri mum tabakasının tekdüzeliğini tespit eder ve sapmalar %3'ü aşarsa parametreleri otomatik olarak ayarlar.

Ana Avantajları

Enerji Verimliliği: Saf su geri dönüşüm oranı > 80%, balmumu tüketimi 0,8g/wafer, disk başına %35 daha düşük enerji
Akıllı Bağlantı: Tam süreç verilerinin izlenebilirliği için MES/ERP ile uyumludur (kalınlık/basınç/zaman)
Ölçeklenebilirlik: Φ300-650mm standart olmayan diskler için özelleştirilebilir aletler ve tarifler

Üretim Kapasitesi

Wafer Boyutu	Disk çapı	miktarı	Döngü Zamanı
4 inç.	Φ485mm	11 adet	5 dakika/disk
4 inç.	Φ576mm	13 adet	6 dakikalık/disk
6 inç.	Φ485mm	6 adet	3 dakikalık/disk
6 inç.	Φ576mm	8 adet	4 dakikalık/disk
8 inç.	Φ485mm	3 adet	2 dakika/disk
8 inç.	Φ576mm	5 adet.	3 dakikalık/disk

Başvurular

Tam süreçli seramik disk işleme: Tek makinde temizlik→kurutma→balmumu

Silikon karbid (SiC), silikon (Si), galiyum nitrit (GaN) gibi yarı iletken malzemelerin işlenmesinde kullanılır ve aynı zamanda safir, seramik, kristal,MEMS, ve optik ürünler.

Seramik Disk Temizleme-Yumuşatma Entegre Makine Otomatik Yarım iletken Endüstrileri 0

S&A

S1: Verim oranını nasıl sağlayabiliriz?
A1: Seramik diskler için özel görme sistemi, gerçek zamanlı hizalama doğruluğu ±0.02mm'ye ulaşır.

S2: Seramik disk temizlemesinin su tüketimi?
A2: Su geri dönüşüm oranı > 80%, tüketim ≤ 0.5L/disk.

S3: Wafer boyutunun hızlı bir şekilde nasıl değiştirileceği?
A3: Entegre makinenin akıllı armatür kütüphanesi, HMI seçimi yoluyla otomatik olarak aletleri değiştirir (değişim süresi <3 dakikadır).

Etiketler: