SICOI Gerçek Zamanlı Kontrol Sistemi Robotik ve CNC Makineleri için % 99.9 Algoritma Doğruluğu

giriiş
SilikonKarbürAçıkİzolatör (Sicoi)incefilmlertemsil etmekAkesmekenarsınıfile ilgilikompozitmalzeme,yaratılmışileentegrasyonAyüksek-kalite,Bekar-kristalsilikonkarbür (Sic)katman-tipik olarak500ile600nanometrelerkalın-üzerineAsilikondioksit (Sio₂)temel.Bilineniçinonunüsttermaliletkenlik,yüksekelektrikbozulmakuvvet,Veharikarezistansilekimyasalbozulma,Sic,Ne zamaneşleştirilmişileBİRyalıtımsubstrat,etkinleştirir.gelişimile ilgilicihazlaryetenekliile ilgiliişletmegüvenilir bir şekildealtındaaşırıgüç,sıklık,Vesıcaklıkkoşullar.

İlke
Sicoiincefilmlerolabilmekolmaküretilmişbaşından sonuna kadarCMOS-uyumlutekniklerçokgibiiyon-kesmeVegofretBağlama,kolaylaştırmaonlarınentegrasyonilegelenekselyarı iletkencihazPlatformlar.

İyon-KesmeTeknik
Birgeniş bir şekildekullanılmışyöntemdahil.iyon-kesme (AkıllıKesmek)yaklaşmak,NeresiAinceSickatmankiaktarılmışüzerineAsubstratbaşından sonuna kadariyonimplantasyontakip edilenilegofretBağlama.Bumetodoloji,ilk olarakgelişmişiçinüretensilikon-Açık-İzolatör (SOI)gofret-denölçek,yüzlerzorluklarNe zamanuygulanmışileSic.Özellikle,iyonimplantasyonolabilmektanıtmakyapısalkusuriçindeSicOvar olanzoriletamirataracılığıylatermaltavlama,önde gelenilevarlıklıoptikkayıplariçindefotonikcihazlar.Üstelik,tavlama-densıcaklıküstünde1000 °Cmayısanlaşmazlıkileözelişlemsınırlamalar.

İleüstesinden gelmekbunlarsınırlamalar,mekanikinceltmearacılığıylabilemeVekimyasalmekanikparlatma (CMP)olabilmekazaltmak.Sic/Sio₂ -Sikompozitkatmanilealtında1μm,verimliAson derecedüzyüzey.Reaktifiyonaşındırma (Rie)tekliflerBİRek olarakinceltmerotaOen aza indirmekoptikkayıplariçindeSicoiPlatformlar.İçindeparalel,ıslakoksidasyon-yardımlıCMPsahip olmakgösterişliverimlilikiçindeazaltmayüzeyusulsüzlüklerVesaçılmaefektler,sırasındasonrakiyüksek-sıcaklıktavlamaolabilmekgenişletmeketraflıgofretkalite.

GofretBağTeknoloji
BiralternatifyaklaşmakiçinimalatSicoiyapılardahilgofretBağlama,Neresisilikonkarbür (Sic)Vesilikon (Si)gofretvar olankatıldıaltındabasınç,kullanma.termal olarakoksitlenmişkatmanlarAçıkikisi birdenyüzeylerilebiçimAbağlamak.Fakat,termaloksidasyonile ilgiliSicolabilmektanıtmakyerelkusur-den.Sic/oksitarayüz.Bunlarkusurlarmayısarttırmakoptikyayılmakayıplarveyayaratmakşarjyakalamasiteler.Ayrıca,.Sio₂katmanAçıkSickisıklıklayatırılmışkullanmaplazma-gelişmişkimyasalbuharbiriktirme (PECVD),AişlemOmayıstanıtmakyapısalusulsüzlükler.

İleadresbunlarsorunlar,BİRgelişmişyöntemsahip olmakolmuşgelişmişiçinimalat3C-SicoiCips,Hangikullanıranodikbağileborosilikasyonbardak.Buteknikkorumaktam doluuyumlulukilesilikonMikrochachining,CMO'lardevre,VeSictemellifotonikentegrasyon.Alternatif olarak,amorfSicfilmlerolabilmekolmakdoğrudanyatırılmışüzerineSio₂/SigofretaracılığıylaPecvdveyaPüskürtme,teklifAbasitleştirilmişVeCMOS-arkadaşçaimalatrota.Bunlargelişmelerönemli ölçüdegenişletmek.ölçeklenebilirlikVeuygulanabilirlikile ilgiliSicoiteknolojileriçindeFotonik.

Avantajlar
İçindekarşılaştırmakileakımmalzemeplatformlarçokgibisilikon-Açık-İzolatör (Soi),silikonnitrür (Günah),Velityumniobate-Açık-İzolatör (Lnoi),.Sicoiplatformtekliflerbelirginperformansfaydalariçinfotonikuygulamalar.İleonuneşsizözellikler,Sicoikigiderek daha fazlatanınmışgibiAumut vericiadayiçinSonraki-nesilkuantumTeknolojiler.Onunanahtaravantajlarkatmak:

• GenişOptikŞeffaflık:SicoisergileryüksekşeffaflıkkarşısındaAgenişspektralmenzil-itibarenyaklaşık olarak400NMile5000NM—sırasındasürdürmeDüşükoptikkayıp,iledalga kılavuzuzayıflamatipik olarakaltında1DB/santimetre.

• Çok işlevliKabiliyet:.platformetkinleştirirtürlüişlevsellikler,içermekelektrooptikmodülasyon,termalayarlama,Vesıklıkkontrol,yapımBTuyguniçinkarmaşıkentegrefotonikdevreler.

• Doğrusal olmayanOptikÖzellikler:SicoiDesteklerikinci-harmoniknesilVediğerdoğrusal olmayanefektler,VeBTAyrıcasağlayanAuyguntemeliçinBekar-fotonemisyonbaşından sonuna kadartasarlanmışrenkmerkezler.

Başvuru

Sicoimalzemeentegre etmek.üsttermaliletkenlikVeyüksekbozulmaGerilimile ilgilisilikonkarbür (Sic)ile.harikaelektrikyalıtımözelliklerile ilgilioksitkatmanlar,sırasındaönemli ölçüdegeliştirme.optiközelliklerile ilgilistandartSicsubstratlar.Buyapıonlarason dereceuyguniçinAgenişmenzilile ilgiligelişmişuygulamalar,içermekentegrefotonik,kuantumoptik,Veyüksek-performansgüçelektronik.

Kaldırma.Sicoiplatform,araştırmacılarsahip olmakbaşarıylauydurulmuşçeşitliyüksek-kalitefotonikcihazlarçokgibidümdüzdalga kılavuzları,mikroringVemikrodiskrezonatörler,fotonikkristaldalga kılavuzları,elektrooptikmodülatörler,Mach-Zehnderinterferometreler (Mzis),VeoptikkirişBapama.Bunlarbileşenlervar olankarakterize edilmişileDüşükyayılmakayıpVeharikaişlevselperformans,sağlayansağlamaltyapıiçinteknolojilerbeğenmekkuantumiletişim,fotoniksinyalişleme,Veyüksek-sıklıkgüçSistemler.

İlekullanmaAincefilmyapı-tipik olarakşekillendirilmişilekatmanBekar-kristalSic (etrafında500–600NMkalın)üzerineAsilikondioksitsubstrat—Sicoietkinleştirirameliyatiçindetalep etmekOrtamlardahilyüksekgüç,yükseltilmişsıcaklıklar,Veradyo-sıklıkkoşullar.BukompozittasarımpozisyonlarSicoigibiAönde gelenplatformiçinSonraki-nesiloptoelektronikVekuantumcihazlar.

Soru -Cevap

S1:NekiASicoigofret?
A1: ASicoi (SilikonKarbürAçıkYalıtkan)gofretkiAkompozityapıoluşanile ilgiliAincekatmanile ilgiliyüksek-kaliteBekar-kristalsilikonkarbür (Sic)bağlıveyayatırılmışAçıkBİRyalıtımkatman,tipik olaraksilikondioksit (Sio₂).Buyapıbirleştirir.harikatermalVeelektriközelliklerile ilgiliSicile.izolasyonfaydalarile ilgiliBİRyalıtkan,yapımBTson dereceuyguniçinbaşvuruiçindefotonik,güçelektronik,VekuantumTeknolojiler.

S2:Nevar olan.anabaşvurualanlarile ilgiliSicoigofret?
A2: Sicoigofretvar olangeniş bir şekildekullanılmışiçindeentegrefotonik,kuantumoptik,RFelektronik,yüksek-sıcaklıkcihazlar,VegüçSistemler.Tipikbileşenlerkatmakmikroringrezonatörler,Mach-Zehnderinterferometreler (Mzis),optikdalga kılavuzları,modülatörler,mikrodiskrezonatörler,VekirişBapama.

S4:Nasılvar olanSicoigofretfabrikasyon mu?
A4: Sicoigofretolabilmekolmaküretilmişkullanmaçeşitliyöntemler,içermekAkıllı-Kesmek (iyon-kesmeVegofretbağlanma),yönlendirmekbağilebilemeVeCMP,anodikbağilebardak,veyayönlendirmekbiriktirmeile ilgiliamorfSicaracılığıylaPecvdveyaPüskürtme..seçenekile ilgiliyöntembağlı olmakAçık.başvuruVeistenenSicfilmkalite.

İlgili Ürün