Silisyum Karbür SiC Seramik Tepsi​ Yarı İletken Aşındırma ve Fotovoltaik Gofret İşleme

SIC Keramik Tepsinin Tanıtımı- Hayır.
- Hayır.

SIC Keramik Tepsisi (Silicon Carbide Ceramic Tray) silikon karbid (SiC) malzemesine dayalı yüksek performanslı bir endüstriyel taşıyıcı araçtır.fotovoltaikSiC'nin yüksek sıcaklık dayanıklılığı, korozyon dayanıklılığı gibi olağanüstü özelliklerinden yararlanarak,ve yüksek ısı iletkenliği  gelişmiş endüstriyel senaryolarda grafit ve metaller gibi geleneksel malzemelerin ideal bir yerini alır.

Temel İlkelerSIC Seramik Tepsisi- Hayır.
 

(1) Malzeme Özellikleri

Yüksek Sıcaklığa Direnci: 2700°C'ye kadar erime noktası, 1800°C'de istikrarlı çalışma, yüksek sıcaklık süreçleri için uygundur (örneğin, ICP kazım, MOCVD).
Yüksek ısı iletkenliği: 140 ~ 300 W / m · K (grafit ve sinterli SiC'den üstün), eşit ısı dağılımını sağlar ve termal gerilimden kaynaklanan deformasyonu en aza indükler.
Korozyona Direnci: Güçlü asitlere (örneğin HF, H2SO4) ve alkalilere dayanıklı, kirliliği veya yapısal hasarı önler.
Düşük Termal Genişleme: Silikona yakın termal genişleme katsayısı (4.0×10−6/K), sıcaklık değişiklikleri sırasında bükülmeyi azaltır.

(2) Yapısal Tasarım

Yüksek saflık ve yoğunluk: SiC içeriği ≥99.3%, gözeneklilik ≈0, parçacık dökülmesini önlemek için yüksek sıcaklıkta sinterleme (2250 ∼ 2450 °C) yoluyla oluşur.
Özelleştirilebilir Boyutlar: Büyük çapları (örneğin, φ600mm) ve wafer işleme ve vakum püskürtme için entegre özellikleri (vakum delikleri, oluklar) destekliyor

Ana UygulamalarSIC Seramik Tepsisi- Hayır.
- Hayır.

(1) Yarım iletken üretimi.

Wafer İşleme: Wafer konumlandırmasını istikrarlandırmak için ICP kazımında ve CVD'de (Kimyasal Buhar Depozisyonu) kullanılır.
MOCVD Ekipmanı: Yüksek parlaklıklı LED'lerde GaN (galiyum nitrit) büyümesi için bir taşıyıcı olarak hareket eder ve 1100-1200 °C sıcaklıklara dayanır.

(2) Fotovoltaik

Silikon Kristal Büyüme: Polikristal silikon üretiminde kuvars çakmaklarının yerini alır ve erime sıcaklıklarına tolerans gösterir. >1420°C.

(3) Lazer ve hassas işleme

Etching/Cutting: Yüksek enerjili ışın etkilerine dirençli, lazerle kazınan malzemeler için bir platform olarak hizmet eder.

(4) Kimya ve Çevre Mühendisliği

Korozyona Dayanıklı Ekipmanlar: Gaz borularında ve reaktörlerde agresif sıvı işleme için kullanılır

S&A SIC Seramik Tepsisi
- Hayır.

S1: SIC, grafit tepsilerle nasıl karşılaştırılıyor?
A: SIC, daha yüksek sıcaklıklara (1800 ° C vs. ~ 1000 ° C) dayanır ve kaplama delaminasyonunu önler.

S2: SIC tepsileri tekrar kullanılabilir mi?
A: Evet, ancak mekanik çarpmalardan ve aşırı sıcaklıklardan kaçının. Kalıntıları yumuşak aletlerle temizleyin; nem emilimini önlemek için kuru saklayın.

S3: Genel arıza modları?
Temiz CVD SiC tepsileri fiziksel olarak hasar görmedikleri sürece çarpmaya karşı dayanıklıdır.

S4: Vakum ortamları için uygun mu?
Evet. Yüksek saflık ve düşük çıkış gazları onları vakum püskürtme ve yarı iletken kazım için ideal hale getiriyor.

S5: Spesifikasyonları nasıl seçebilirim?
A: Süreç sıcaklığını, yük kapasitesini ve uyumluluğu göz önünde bulundurun (örneğin, büyük levhalar için φ600mm tepsiler)

İlgili Ürünler

12 inç SiC Wafer 300mm Silikon Karbid Wafer İletici Numara N-Tipi Araştırma sınıfı

4H/6H P-Tip Sic Wafer 4 inç 6 inç Z Sınıfı P Sınıfı D Sınıfı Eksen dışı 2.0°-4.0° P-Tip Doping'e doğru