SiC Keramik Çatal Özel Yapılmış hassas yapısal bileşen Halı Wafers Optik bileşen

SiC seramik çatal özel yapımı hassas yapısal bileşen, saplama levhaları, optik bileşen

ÖzetSiC seramik çatal

SiC Keramik Çatal Kol, gelişmiş silikondan yapılmış yapısal bir bileşendir.

Karbid seramik malzeme. Temel olarak yüksek sertlik, düşük termal genişleme katsayısı ve yüksek aşınma direnci gerektiren hassas ekipmanlarda kullanılır."Fork Arm" şekli genellikle yüksek kaliteli optik cihazlarda bulunur, yarı iletken işleme ekipmanları ve otomatik işleme sistemleri, bir destek, konumlandırma, iletim veya sıkıştırma elemanı olarak hizmet eder.silikon karbit seramik mekanik performans açısından önemli avantajlar sunar, termal kararlılık ve korozyon direnci, ve yavaş yavaş modern yüksek hassasiyetli imalatın kilit fonksiyonel bileşeni haline gelmiştir.

Atribut tablosuSiC seramik çatal

SiC seramik çatal kollarının tasarımı ve üretimi

Yapısal Tasarım

SiC çatal kolları, uygulama gereksinimlerine göre özel olarak tasarlanmıştır.

• Wafer taşımacılığı

• Sonda kartının konumlandırılması

• Optik modül desteği

Tasarımda önemli hususlar şunlardır:

• Yük kapasitesi ve stres dağılımı

• Isı gerginliği telafi

• Hızlı montaj arayüzleri

• Temiz oda uyumluluğu

İşleme Teknikleri

Üretim süreci birkaç kritik aşamayı içerir:

• Toz hazırlama

• Kalıplama (kuru presleme, izostatik presleme veya döküm)

• Sinterleme (örneğin, basınçsız sinterleme, reaksiyon bağlama)

• İşleme (düzme, lazer sondajı, EDM)

• Yüzey işleme (pürüzsüzleştirme, kaplama, lazer işareti)

SiC seramik bileşenlerinin hazırlanması için süreç akış diyagramı

Uygulama Senaryoları- Ne?SiC seramik çatal

Yarım iletken ekipmanları

SiC seramik çatal kolları, fotolitografi, kazım ve ambalajlama gibi işlemler için wafer işleme sistemlerinde yaygın olarak kullanılır.

• Kirletici olmayan yüzey

• Yüksek sıcaklığa dayanıklılık

• Mükemmel kimyasal dayanıklılık

• Sınıf 10'1000 temiz odalarla uyumluluk

Kullanımı:

• EFEM ve FOUP yükleme limanları

• 6", 8" ve 12" wafer taşıma

• Vakumlu al ve yerleştirme sistemleri

 Optik Sistemler ve Teleskoplar

Yüksek hassasiyetli optik aletlerde, SiC çatal kolları:

• Ayna ve lensler için sert destek

• Isı değişimleri altında istikrarlı hizalama

• Dinamik konumlandırma için hafif yapı

Genellikle şunlarda kullanılır:

• Interferometre

• Uzay teleskopları

• Lazer tarama sistemleri

Havacılık ve Savunma- Ne?SiC seramik çatal

Havacılık sistemlerinde, SiC çatal kolları

• Hafiflik ve titreşim altında sertlik

• Radyasyona ve termal şoka dayanıklılık

• Düşük Dünya yörüngesi koşullarında yapısal istikrar

Tipik roller, yararlı yük destekleri, gimbal bağlantıları ve optik montajları içerir.

Robotik ve Otomasyon Sistemleri

Temiz oda otomasyon ortamlarında, SiC çatal kolları, aşağıdakileri sunan son efektörler veya tutaklar olarak kullanılır:

• Yürütücü olmayan, parçacık üretmeyen yüzeyler

• Abrasif veya koroziv ortamlarda uzun kullanım ömrü

• Vakum odalarında gaz çıkışına direnç

Kişiselleştirme ve Teknik Destek

Standart olmayan bir hassaslık bileşeni olarak, SiC seramik çatal kolları genellikle kullanıcı gereksinimlerine göre özelleştirilir.

• Toplam boyutlar (uzunluk, genişlik, kalınlık)

• Açılış boyutu ve açısı

• Yüzey finişi ve kabalık

• Çamferler, delikler, yuvalar

• Wafer uyumluluğu (6", 8", 12")

Çizim incelemesi, mekanik davranış için FEM simülasyonu ve performans ve uyumluluğu sağlamak için prototip doğrulama dahil olmak üzere tam döngü hizmetlerini destekliyoruz.

İlişkili ürünler

6 inç Silikon Karbid SiC kaplı grafit tepsisi yüksek sıcaklığa dayanıklı grafit plakaları