Yıkıcı olmayan ingot inceltme için yarı iletkenli lazer kaldırma ekipmanları

Lazer kaldırma ekipmanlarının ürün genel görünümü

Yarı iletken lazer kaldırma ekipmanları, yarı iletken malzeme işleme alanında gelişmiş ingot inceltmesi için bir sonraki nesil çözümü temsil eder.Mekanik öğütmeye dayanan geleneksel waferleme yöntemlerinden farklı olarak, elmas tel testeresi veya kimyasal-mekanik düzleştirme, bu lazer tabanlı platform temassız,Toplu yarı iletken ingotlardan ultra ince katmanların ayrılması için yıkıcı olmayan alternatif.

Galiyum nitrit (GaN), silikon karbür (SiC), safir ve galiyum arsenür (GaAs) gibi kırılgan ve yüksek değerli malzemeler için optimize edilmiş,Yarım iletkenli lazer kaldırma cihazı, wafer ölçekli filmlerin doğrudan kristal ingot'tan kesin kesilmesini sağlarBu yenilikçi teknoloji, malzeme atıklarını önemli ölçüde azaltır, verimi artırır ve altyapı bütünlüğünü arttırır. Bunların hepsi güç elektroniklerinde bir sonraki nesil cihazlar için kritiktir.,RF sistemleri, fotonik ve mikro ekranlar.

Otomatik kontrol, ışın şekillendirme ve lazer-malzeme etkileşim analizi üzerine odaklanarak,Yarım iletkenli lazer kaldırma ekipmanı, araştırma ve geliştirme esnekliğini ve seri üretim ölçeklenebilirliğini desteklerken yarı iletkenli üretim iş akışlarına sorunsuz bir şekilde entegre olmak için tasarlanmıştır..

Lazer kaldırma ekipmanlarının teknolojisi ve çalışma prensibi

Yarım iletken lazer kaldırma ekipmanıyla gerçekleştirilen işlem, donör ingot'u yüksek enerjili bir ultraviyole lazer ışını kullanarak bir taraftan ışınlayarak başlar.Bu ışın, belirli bir iç derinliğe yoğunlaşmıştır., tipik olarak, optik, termal veya kimyasal kontrast nedeniyle enerji emiliminin en üst düzeye çıkarıldığı mühendislik arayüzü boyunca.

Bu enerji emici katmanda, yerel ısıtma hızlı bir mikro patlamaya, gaz genişlemesine veya bir ara yüzey katmanının (örneğin, bir stres filminin veya kurban oksitinin) parçalanmasına neden olur.Bu hassas bir şekilde kontrol edilen bozulma, üst kristalin katmanın onlarca mikrometre kalınlığında, temel ingottan temiz bir şekilde ayrılmasına neden olur..

Yarım iletkenli lazer kaldırma cihazı hareket eşzamanlı tarama kafaları, programlanabilir z ekseni kontrolü,Ve gerçek zamanlı refleksometri her bir atışın tam olarak hedef düzlemde enerji verdiğinden emin olmak içinEkipman, ayrılma pürüzsüzlüğünü arttırmak ve kalıntı stresini en aza indirmek için patlama modu veya çok patlama yetenekleriyle de yapılandırılabilir.Çünkü lazer ışını asla malzemeye fiziksel olarak dokunmaz., mikro çatlama, bükülme veya yüzey parçalanma riski önemli ölçüde azalır.

Bu, lazerli kaldırma inceleme yöntemini, özellikle mikronun altındaki TTV (Toplam Kalınlık Değişimi) ile ultra düz, ultra ince waferlerin gerekli olduğu uygulamalarda bir oyun değiştirici haline getirir.

Yarım iletkenli lazer kaldırma ekipmanlarının parametresi

Lazer kaldırma ekipmanlarının endüstriyel uygulamaları

Yarım iletkenli lazer kaldırma ekipmanları, malzemelerin çoklu yarı iletken alanlarında nasıl hazırlandığını hızla değiştiriyor:

• Lazer kaldırma ekipmanlarının dikey GaN güç cihazları

Ultra ince GaN-GaN filmlerinin toplu ingotlardan kaldırılması dikey iletkenlik mimarilerini ve pahalı substratların yeniden kullanılmasını sağlar.

• Schottky ve MOSFET cihazları için SiC Wafer Hızlandırma

Substrat düzlüğünü korurken cihaz katmanı kalınlığını azaltır hızlı geçişli güç elektroniği için idealdir.

• Lazer kaldırma ekipmanlarının safir bazlı LED ve ekran malzemeleri

Mükemmel, termal olarak optimize edilmiş mikro-LED üretimini desteklemek için cihaz katmanlarını safir toplardan verimli bir şekilde ayırmayı sağlar.

• Lazer kaldırma ekipmanlarının III-V malzeme mühendisliği

Gelişmiş optoelektronik entegrasyon için GaAs, InP ve AlGaN katmanlarının koparılmasını kolaylaştırır.

• İnce Wafer IC ve Sensör Üretimi

Basınç sensörleri, hızlandırıcılar veya fotodiyotlar için ince işlevsel katmanlar üretir.

• Esnek ve Şeffaf Elektronik

Esnek ekranlar, giyilebilir devreler ve şeffaf akıllı pencereler için uygun ultra ince substratlar hazırlar.

Bu alanların her birinde, Yarım iletken lazer kaldırma ekipmanları, minyatürleşmeyi, malzeme yeniden kullanımını ve süreç basitleştirmesini mümkün kılmada kritik bir rol oynamaktadır.

Lazer kaldırma ekipmanları hakkında sıkça sorulan sorular

S1: Yarım iletkenli lazer kaldırma ekipmanını kullanarak elde edebileceğim minimum kalınlık nedir?
A1:Tipik olarak malzemeye bağlı olarak 10-30 mikron arasındadır.

S2: Aynı ingottan birden fazla wafer kesmek için kullanılabilir mi?
A2:Evet, birçok müşteri, lazerle çıkarma tekniğini kullanarak tek bir ingottan çok sayıda ince katmanı seri olarak çıkarıyor.

S3: Yüksek güçlü lazer işlemi için hangi güvenlik özellikleri dahil edilmiştir?
A3:Sınıf 1 kapakları, kilitleme sistemleri, ışın kalkanları ve otomatik kapatma sistemleri hepsi standart.

S4: Bu sistem maliyet açısından elmas tel testere ile nasıl karşılaştırılır?
A4:İlk sermaye masrafları daha yüksek olabilirken, lazer kaldırma tüketim maliyetlerini, altyapı hasarını ve işleme sonrası adımları önemli ölçüde azaltır. Uzun vadede sahip olma toplam maliyetini (TCO) düşürür.

S5: Süreç 6 inç veya 8 inç ingotlara ölçeklenebilir mi?
A5:Platforma 12 inçlik alt katmanı destekler.

İlgili Ürünler

6 inç Dia153mm 0.5mm monokristalin SiC Silikon Karbid kristal tohumları Wafer veya ingot

4 inç 6 inç 8 inç 10 inç için SiC Ingot Kesme Makinesi SiC Kesme Hızı 0.3 mm/Min Ortalama

Bizim Hakkımızda

ZMSH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışlarında uzmanlaşmıştır.Sapphire optik bileşenleri sunuyoruz., cep telefonu lens kapakları, Keramik, LT, Silikon Karbid SIC, Kuvars ve yarı iletken kristal levhalar.,Lider bir optik elektronik malzemeler yüksek teknoloji şirketi olmayı hedefliyoruz.

Paketleme ve Nakliye Bilgisi

Paketleme Yöntemi:

• Tüm eşyalar güvenli geçiş için güvenli bir şekilde paketlenmiş.
• Paketleme, anti-statik, şoka dayanıklı ve toz geçirmez malzemelerden oluşur.
• Waferler veya optik parçalar gibi hassas bileşenler için temiz oda düzeyinde ambalaj kullanıyoruz:

1. Ürünün hassasiyetine bağlı olarak 100 veya 1000 sınıf toz koruması.
2. Özel gereksinimler için özel ambalaj seçenekleri mevcuttur.

Nakliye kanalları ve tahmini teslimat süresi:

• Güvenilir uluslararası lojistik sağlayıcıları ile çalışıyoruz:

UPS, FedEx, DHL

• Standart teslim süresi varış noktasına bağlı olarak 3-7 iş günüdür.
• Sipariş gönderildikten sonra takip bilgileri verilecektir.
• Hızlı nakliye ve sigorta seçenekleri talep üzerine mevcuttur.