Yüksek sıcaklıkta işleme yönelik silikon karbid (SiC) seramik tepsisi

Genel bakış

Silikon Karbid (SiC) Seramik Tepsiler, gergin termal, kimyasal ve mekanik ortamlar için tasarlanmış yüksek performanslı taşıyıcılardır.ve yüksek sıcaklıklarda istikrarlı, SiC tepsileri yarı iletken işleme, LED imalatı, gelişmiş malzeme sinterleme ve yüksek saflıklı termal uygulamalar için tercih edilen bir çözüm haline geldi.Dayanıklılıkları ve düşük kirlilik özellikleri, sürekli süreç güvenilirliğini ve uzun kullanım ömrünü sağlar.

Maddi Özellikler

Silikon karbid seramikleri, geleneksel alümina ve kuvars tepsilerinden daha iyi bir fiziksel ve kimyasal dayanıklılık kombinasyonu sunar:

• Yüksek sıcaklığa dayanıklı:Yüksek sıcaklıklı fırınlar için uygun 1600~1700 °C'nin üzerinde istikrarlı performans.

• Mükemmel Termal Şok Direnci:Hızlı ısınma ve soğutma döngüleri çatlamadan.

• Yüksek Sertlik ve Kullanım Direnci:Mekanik stres altında ömrünü uzatır.

• Düşük Termal Genişleme (CTE):Isı döngüsü sırasında boyutsal istikrar sağlar.

• Yüksek ısı iletkenliği:Aynı derecede ısı dağılımını teşvik eder, sinterleme tutarlılığını iyileştirir.

• Korozyona ve oksidasyona dayanıklı:Kirlenme riskini büyük ölçüde azaltır.

• Düşük Akış Gazı:Ultra temiz işlemler için uygundur.

Üretim süreci

SiC seramik tepsiler tipik olarakbasınçsız sinterleme,Reaksiyon bağlama (RBSiC), veyaKimyasal buhar çökmesi (CVD-SiC)Saflık ve performans gereksinimlerine bağlı olarak:

• RBSiC (Reaction-Bonded SiC):Yüksek dayanıklılık, mükemmel termal şok özellikleri, uygun maliyetli.

• SSiC (Sintered SiC):Daha yüksek saflık, daha yüksek yoğunluk, daha iyi kimyasal istikrar, yarı iletkenler için idealdir.

• CVD-SiC kaplama:Gelişmiş wafer işlemleri için son derece saf, gözeneksiz, korozyona dayanıklı yüzeyler sağlar.

Her üretim rotası yüksek tekdüzeliği, hassas boyut kontrolünü ve özelleştirilebilir geometriyi sağlar.

Ana Uygulamalar

SiC seramik tepsiler çok sayıda endüstride yaygın olarak kullanılır:

Yarım iletkenler ve mikroelektronik

• Wafer yükleme, yüksek sıcaklıkta işleme, LPCVD/PECVD desteği

• Difüzyon, oksidasyon, hızlı termal süreçler

• Yüksek saflıklı malzeme taşıma ve taşıyıcı platformlar

LED ve Optoelektronik Üretim

• Safir, GaN, SiC levhaları sinterleme ve kaynatma

• Epitaxy ve yüksek sıcaklıklı ısı tedavisi desteği

Toz Metallurjisi ve Sinterleme

• Seramik, manyetik malzemeler ve metal tozu sinterleme

• Yüksek sıcaklıklı fırın taşıyıcıları ve ayırıcıları

Lityum Pil ve Gelişmiş Malzemeler

• Toz kalsinasyonu, fosfatlama, yüksek sıcaklıkta kaplama

• Gelişmiş enerji malzemeleri için destek armatürleri

Genel Endüstriyel Fırınlar

• Yüksek sıcaklıkta pişirme, ısı işleme, termal döngü

SiC seramik tepsilerin avantajları

Geleneksel grafit, alümina veya metal tepsilerle karşılaştırıldığında, SiC seramik tepsiler önemli avantajlar sunar:

• Daha uzun kullanım ömrüTekrarlanan yüksek sıcaklık döngülerinde

• Daha az kirlilik, istikrarlı süreç kalitesini sağlamak

• Daha yüksek mekanik dayanıklılıkDeformasyonlara karşı dirençli

• Tekdüze ısı iletkenliğiürün tutarlılığının iyileştirilmesi için

• Özelleştirilebilir tasarım, çukurlar, delikler, oluklar ve karmaşık geometri dahil olmak üzere

• Temiz oda ve vakum ortamları ile uyumludur

Kullanılabilir özellikler

Standart ve özel tasarımlı tepsiler sunuyoruz.

• Düz tepsiler, gözenekli tepsiler, ızgara tepsiler

• Boyutları:Genel boyutlar arasında 100~500 mm; özelleştirilebilir

• Kalınlığı:3~20 mm veya müşteri talebi üzerine

• Malzeme seçenekleri:RBSiC, SSiC, CVD-SiC

• Yüzey işleme:Polişleme, CVD kaplama, şamferleme, lazer işareti

Özel fırın modelleri, otomatik sistemler veya belirli üretim hatları için özel OEM / ODM hizmetleri desteklenmektedir.

Sık Sorulan Sorular

S1: RBSiC ve SSiC tepsileri arasındaki fark nedir?

RBSiC, daha düşük maliyetle mükemmel mekanik dayanıklılık sağlarken, SSiC daha yüksek saflık, daha iyi korozyon direnci sağlar ve yarı iletken ortamları için idealdir.

S2: SiC tepsileri hızlı ısı döngüsüne dayanabilir mi?

SiC, hızlı ısınma ve soğutma işlemleri için uygun hale getiren olağanüstü bir ısı şoku dayanıklılığına sahiptir.

S3: Tepsinin şekli özelleştirilebilir mi?

Kesinlikle. Karmaşık geometrilerle tepsiler üretebiliriz, çukurlar, delikler, kenarlıklar ve çok katmanlı yapılar dahil.

S4: SiC, yüksek sıcaklıkta çalışma sırasında ürünleri kirletecek mi?

SiC kimyasal olarak kararlıdır, oksidasyona dayanıklıdır ve az gazlama vardır, bu da az kirliliği sağlar.

S5: SiC tepsileri özel bir temizlik yöntemi gerektirir mi?

Temizleme, malzeme sınıfına bağlıdır: SSiC ve CVD-SiC asit / baz temizliğini sağlar; RBSiC, yüzey değişikliğini önlemek için daha yumuşak yöntemlere ihtiyaç duyar.

İlişkili ürünler

6 inç Silikon Karbid SiC kaplı grafit tepsisi yüksek sıcaklığa dayanıklı grafit plakaları

SiC safir Si GAAs vafraları için silikon karbid seramik çak

Bizim Hakkımızda

ZMSH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışlarında uzmanlaşmıştır.Sapphire optik bileşenleri sunuyoruz., cep telefonu lens kapakları, Keramik, LT, Silikon Karbid SIC, Kuvars ve yarı iletken kristal levhalar.,Lider bir optoelektronik malzeme yüksek teknoloji şirketi olmayı hedefliyoruz.