1Özet

Bu hassas radyal yapılı işlem taşıyıcı tepsisi, olağanüstü mekanik dayanıklılık, termal istikrar,ve boyut hassasiyetiÇok bölgelik halka yuvalarının bir kombinasyonu ve radyal destek kaburgalarının güçlendirilmiş bir ağı ile,Tepsi karmaşık ve zorlu üretim ortamlarında üstün performans sağlamak için tasarlanmıştır.Yarım iletken imalatı, LED epitaksi, gelişmiş seramik sinterleme ve yüksek sıcaklıklı vakum işleme gibi endüstriler, güvenilirliği, tutarlılığı,ve yüksek verimlilik.

Tepsinin geometri, mekanik yükleri eşit bir şekilde dağıtmak, yüksek stres altında yapısal sertliği korumak için optimize edilmiştir.ve hızlı ısıtma ve soğutma içeren işlemler sırasında termal tekdüzeliği iyileştirmekYüksek saflıklı seramik veya metal malzemelerle ve sağlam işleme süreçleriyle birleştirilen bu ürün, hassas yönlendirilen imalat için tasarlanmış yeni nesil endüstriyel armatürleri temsil eder.

2Yapısal özellikler ve işlevsel tasarım

2.1 Çok Bölgesel Halkalı Çatlak Çerçeve

Tepside iyi dağıtılmış birkaç katman halka şeklindeki yuvalar bulunur.

• Kilo kaybı:Daha düşük kütle rotasyon sırasında inersiyi azaltır ve genel operasyon verimliliğini artırır.

• Isı akışı optimizasyonu:Çukurlar, etkili ısı dağılımı alanını artırır ve yüzey boyunca eşit sıcaklık dağılımına izin verir.

• Stres azaltma tasarımı:Bölünmüş desen, ısı ve mekanik stres konsantrasyonunu en aza indirir, çatlama veya bükülme riskini azaltır.

Bu çok bölgelik mimari, termal eğimi kesin bir şekilde kontrol edilmesi gereken yüksek sıcaklıklı sinterleme ve yarı iletken süreçlerinde özellikle değerlidir.

2.2 Güçlendirilmiş Radial Kaburga Ağı

Radial kaburgalar, mekanik dayanıklılığı önemli ölçüde artıran çapraz bağlantılı bir yapısel çerçeve oluşturur.

• Deformasyon olmadan ağır yükleri desteklemek

• Spindles üzerine monte edildiğinde dönme istikrarını iyileştirin

• Isıtma ve soğutma döngüleri sırasında bükülmeye veya bükülmeye direnç

• Uzun vadeli boyut doğruluğunu korumak

Halkalı ve radyal yapıların birleşimi, yoğun endüstriyel ortamlarda bütünlüğünü koruyabilen çok dengeli bir tasarımı sağlar.

2.3 Yüksek hassasiyetli işlenmiş yüzey

Tepsinin yüzeyi gelişmiş CNC işleme ve yüzey kondisyonalama süreçleri kullanılarak üretilir.

• Yüksek düzlük

• Kesin kalınlık eşitliği

• Yumuşak yükleme temas noktaları

• Altyapılar veya armatürler için azalan sürtünme

• Otomatik ekipmanlarla tutarlı uyumluluk

Bu tür hassas işleme, küçük sapmaların bile kusurlara veya verim kaybına yol açabileceği yarı iletken ve optik uygulamalar için kritiktir.

2.4 Merkezi Montaj Arayüzü

Tepsinin merkezinde, çok sayıda hassasca delinen delikten oluşan özel bir montaj ara yüzü vardır.

• Döner şaftlarda güvenli montaj

• Fırın veya vakum odası armatürleri ile hizalama

• Otomatik taşıma sistemleri için sabit konumlandırma

• Özel mühendislik araçlarıyla entegrasyon

Bu, tepsinin çeşitli endüstriyel iş akışlarına ve ekipman modellerine kolayca uyum sağlamasını sağlar.

2.5 Dış Halkta Yapısel Güçlendirme

Dış halka, kenarını güçlendiren ve dönme dengesini koruyan segmentli takviye yatakları içerir.

• titreşim direnci

• Periferik yük istikrarı

• Tekrarlanan mekanik darbe altında dayanıklılık

İç kaburga sistemi ile birlikte, dış halka, uzun kullanım ömrü için uygun sert ve istikrarlı bir taşıyıcı oluşturur.

3Farklı Uygulamalar için Malzeme Seçenekleri

Taşak, uygulama gereksinimlerine bağlı olarak birden fazla yüksek performanslı malzemeden üretilebilir:

3.1 Sinterlenmiş Silikon Karbid (SSiC)

• Ultra düşük gözeneklilik

• Yüksek ısı iletkenliği

• Mükemmel korozyon direnci

• Ultra temiz yarı iletken ve vakum ortamları için idealdir.

3.2 Reaksiyon Bağlı Silikon Karbür (RBSiC)

• Mükemmel termal şok direnci

• İyi mekanik dayanıklılık

• Seri üretim için maliyet açısından verimli

• Sinterleme fırınları ve LED üretimi için uygundur

3.3 Alümina Keramik

• 1600°C'ye kadar sabit

• Ucuz ve çok yönlü

• Genel termal yükleme ve seramik işleme uygun

3.4 Yüksek dayanıklı metaller (Alüminyum / Paslanmaz Çelik)

• İyi işlenebilirlik

• Mekanik ekipman, otomasyon ve işleme uygun

• Termal olmayan veya orta sıcaklıklı işlemler için idealdir

Her malzeme, belirli çevresel koşullar altında maksimum performansı sağlamak için seçilir.

4Temel Endüstriyel Uygulamalar

4.1 Yarım iletken üretimi

• CVD ve PECVD sistemleri için taşıyıcı tepsi

• Oksidasyon ve difüzyon süreçleri için destek platformu

• Dondurma ve hızlı termal işleme (RTP) tutucu

• Wafer işleme ve otomatik transfer aletleri

4.2 LED ve Optoelektronik Üretim

• Sapphire ve SiC wafer yükleme tepsisi

• Yüksek sıcaklıklı altyapı işleme taşıyıcı

• Sabit termal profilleri gerektiren epaksyal destek platformu

4.3 Gelişmiş Malzeme İşleme

• Toz metalürjisi ve sinterleme

• Seramik altyapı pişirme

• Yüksek sıcaklıklı vakum fırın tepsileri

4.4 Otomasyon ve hassaslık makineleri

• Döner sabitleme diski

• Hizalama taban plakaları

• Ekipmanın montaj arayüzü

• Özel otomatik taşıyıcı

Çok yönlülüğü hem termal hem de makine mühendisliği ortamları için uygun hale getirir.

5Önemli Avantajlar

5.1 Isı verimliliği

• Uyumlu ısı dağılımı sıcak noktaları en aza indirir

• Hızlı ısı döngüsü için uygundur

• Çok hassas yüksek sıcaklık operasyonları için idealdir.

5.2 Yapısal Dayanıklılık

• Mekanik strese karşı mükemmel direnç

• Yük ve sıcaklık değişiklikleri altında deformasyon karşıtı

• Uzun kullanım ömrü bakım döngülerini azaltır

5.3 Süreç istikrarı

• SiC veya seramik kullanıldığında düşük kontaminasyon riski

• Sürekli boyut doğruluğu yüksek ürün verimini sağlar

• Vakum, inert veya atmosferik koşullarla uyumludur

5.4 Özelleştirilebilir

• Boyutlar, kalınlık ve yuva geometri uyarlanabilir

• Çeşitli malzemeler mevcut

• Merkezi montaj arayüzü özelleştirilebilir

• Sunulan yüzey işleme ve işaretleme seçenekleri

Sık Sorulan Sorular

1SiC seramik tepsisi nedir?

Bir SiC seramik tepsisi, yüksek saflıklı silikon karbidden yapılmış, yarı iletken, LED, optik,ve vakum işlemi üretimYüksek sıcaklık, plazma ve kimyasal işlemler gibi sert ortamlarda olağanüstü termal kararlılık, mekanik dayanıklılık ve deformasyon direnci sunar.

2Kuvars, grafit veya alüminyum tepsilerle karşılaştırıldığında SiC tepsileri kullanmanın avantajları nelerdir?

SiC tepsileri birkaç üstün performans avantajı sunar:

• Yüksek sıcaklığa dayanıklılıkDeformasyon olmadan 1600~1800°C'ye kadar

• Mükemmel ısı iletkenliği, eşit ısı dağılımını sağlar

• Üstün mekanik dayanıklılık ve sertlik

• Düşük termal genişleme, termal döngü sırasında bükülmeyi önler

• Yüksek korozyon direnciPlazma gazlarına ve kimyasallara

• Daha uzun kullanım ömrüSürekli yüksek stresli üretim koşullarında

3. SiC seramik tepsiler esas olarak hangi uygulamalar için kullanılır?

SiC tepsileri yaygın olarak kullanılır:

• Yarım iletken levha işleme

• LPCVD, PECVD, MOCVD termal işleme

• Annealing, difüzyon, oksidasyon ve epitaksi süreçleri

• Sapphire wafer/optik substrat yükleme

• Yüksek vakum ve yüksek sıcaklık ortamları

• Hızlı CMP veya cilalama cihazı platformları

• Fotonik ve gelişmiş ambalajlama ekipmanları

4SiC tepsileri termal şoka dayanabilir mi?

SiC seramikleri düşük CTE ve yüksek kırılma dayanıklılığı nedeniyle mükemmel ısı şoku dayanıklılığını sunar.Yüksek sıcaklıklı döngü süreçleri için ideal hale getirir.

İlişkili ürünler

6 inç Silikon Karbid SiC kaplı grafit tepsisi yüksek sıcaklığa dayanıklı grafit plakaları

SiC safir Si GAAs vafraları için silikon karbid seramik çak

Bizim Hakkımızda

ZMSH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışlarında uzmanlaşmıştır.Sapphire optik bileşenleri sunuyoruz., cep telefonu lens kapakları, Keramik, LT, Silikon Karbid SIC, Kuvars ve yarı iletken kristal levhalar.,Lider bir optoelektronik malzeme yüksek teknoloji şirketi olmayı hedefliyoruz.