Ürün Genel Bakışı

Silisyum Karbür Seramik Halkalar, yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) seramiklerinden üretilmiş hassas mühendislik ürünü bileşenlerdir. Yüksek sıcaklık dayanımı, mükemmel korozyon direnci, yüksek mekanik mukavemet ve üstün aşınma direnci gibi olağanüstü özelliklere sahip SiC seramik halkalar, yarı iletken üretim ekipmanlarında, vakum sistemlerinde, yüksek sıcaklık fırınlarında ve hassas endüstriyel uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Gelişmiş şekillendirme, sinterleme ve hassas işleme süreçleri sayesinde bu bileşenler, zorlu endüstriyel gereksinimleri karşılamak için sıkı boyutsal toleranslar, karmaşık geometriler ve mükemmel yüzey finisajları elde edebilir.

Temel Özellikler

1. Mükemmel Yüksek Sıcaklık Performansı

• Malzeme kalitesine ve uygulama koşullarına bağlı olarak 1600°C+'ya kadar yüksek sıcaklık ortamlarına dayanırYüksek sıcaklıklarda mekanik mukavemetini ve boyutsal kararlılığını korurTermal işlem, epitaksi, difüzyon ve yüksek sıcaklık fırın uygulamaları için idealdir
• 2. Yüksek Saflık ve Düşük Kirlilik
• Yüksek saflıkta silisyum karbür malzemelerinden üretilmiştir

Düşük partikül üretimi ve minimum metalik kirlilik

• Yarı iletken temiz oda ortamları ve wafer işleme uygulamaları için uygundur
• 3. Üstün Korozyon Direnci
• Asitlere, alkalilere ve plazma ortamlarına karşı mükemmel direnç

Cl₂, HCl ve NF₃ gibi agresif proses gazlarına karşı kararlı performans

• Yarı iletken aşındırma, CVD ve PVD ekipmanları için uygundur
• 4. Yüksek Mekanik Mukavemet ve Aşınma DirenciYaklaşık 9 Mohs sertliği
• Uzun hizmet ömrü için mükemmel aşınma direnci

Hassas destek yapıları ve mekanik bileşenler için uygundur

• 5. Hassas İşleme YeteneğiMevcut işleme süreçleri şunları içerir:
• Dış çap ve iç çap işleme
• Hassas taşlama ve parlatma

Sıkı boyutsal ve geometrik tolerans kontrolü

Özelleştirilmiş karmaşık yapılar

• Ürün Özellikleri
• Parametre
• Özellik
• Malzeme

Silisyum Karbür (SiC)

CVD / PECVD ekipman parçaları

Epitaksiyel büyüme fırın bileşenleri

• RTP (Hızlı Termal İşlem) bileşenleri
• Wafer taşıma ve destek sistemleri
• Fotovoltaik Endüstrisi
• Yüksek sıcaklık fırın bileşenleri
• Termal işlem fikstürleri
• Silisyum wafer destek parçaları

Vakum ve Yüksek Sıcaklık Sistemleri

• Vakum fırın bileşenleri
• Isıtma sistemi destekleri
• Termal yalıtım yapıları

Hassas Endüstriyel Uygulamalar

• Aşınmaya dayanıklı sızdırmazlık halkaları
• Pompa bileşenleri
• Konumlandırma ve destek bileşenleri

SSS – Silisyum Karbür Seramik Halka (SiC Seramik Halka)

• S1: Silisyum Karbür Seramik Halka nedir?
• C:
• Silisyum Karbür Seramik Halka, yüksek saflıkta silisyum karbürden (SiC) üretilmiş hassas bir seramik bileşendir. Yarı iletken ekipmanları, vakum sistemleri ve yüksek sıcaklık uygulamaları için uygun olmasını sağlayan mükemmel yüksek sıcaklık dayanımı, korozyon direnci, mekanik mukavemet ve aşınma direnci özelliklerine sahiptir.

S2: SiC seramik halkaların ana avantajları nelerdir?

C:

Wafer işleme ve taşıma ekipmanlarıMükemmel yüksek sıcaklık kararlılığı (malzeme kalitesine bağlı olarak 1600°C+'ya kadar)

Plazma ve kimyasal korozyona karşı üstün direnç

Wafer işleme ve taşıma ekipmanlarıDüşük termal genleşme ve mükemmel boyutsal kararlılık

• Yarı iletken uygulamaları için düşük partikül üretimi
• S3: Silisyum Karbür Seramik Halkaları hangi endüstriler kullanır?
• C:
• SiC seramik halkalar yaygın olarak şunlarda kullanılır:
• Yarı iletken üretim ekipmanları

CVD, PECVD ve PVD sistemleri

Wafer işleme ve taşıma ekipmanlarıEpitaksiyel büyüme sistemleri

• Vakum fırınları
• Yüksek sıcaklık endüstriyel ekipmanları
• Fotovoltaik üretim ekipmanları