8 inç 12 inç 4H-N Tipi SiC Wafer kalınlığı 500±25um n doped dummy prime araştırma sınıfı

8 inç 12 inç 4H-N Tipi SiC Wafer'ın özetini

Bu çalışma, yarı iletken uygulamalar için tasarlanmış 8 inç 12 inç H-N tipi silikon karbid (SiC) levhasının karakterizasyonunu sunar.en son teknikler kullanılarak üretilmiştir ve n tipi kirliliklerle dopedilmiştir.Kristal kalitesini, yüzey morfolojisini, yüzeyin özelliklerini ve özelliklerini değerlendirmek için X-ışını difraksiyonu (XRD), tarama elektron mikroskopu (SEM) ve Hall etkisi ölçümleri de dahil olmak üzere karakterizasyon teknikleri kullanıldı.ve waferin elektrik özellikleriXRD analizi, SiC levhasının 4H politip yapısını doğruladı ve SEM görüntüleme, tekdüze ve kusursuz bir yüzey morfolojisini ortaya çıkardı.Hall etkisi ölçümleri, wafer yüzeyinde tutarlı ve kontrol edilebilir n-tip doping düzeyini gösterdi.Sonuçlar, 8 inçlik 4H-N tipi SiC levhasının yüksek performanslı yarı iletken cihazlarda kullanılmak için umut verici özellikler sergilediğini göstermektedir.Özellikle yüksek güç ve yüksek sıcaklıkta çalışma gerektiren uygulamalardaBu malzeme platformunun potansiyelini tam olarak kullanmak için daha fazla optimizasyon ve cihaz entegrasyonu çalışması gerekmektedir.

8 inç 12 inç 4H-N Tipi SiC Wafer'in özellikleri

1. Kristal yapısı: 4H politipli altıgen bir kristal yapısı gösterir ve yarı iletken uygulamaları için uygun elektronik özellikler sağlar.

2. Wafer Diameter: 8 inç, cihaz üretimi ve ölçeklenebilirliği için büyük bir yüzey alanı sağlar.

3. Wafer Kalınlığı: Tipik olarak 500 ± 25 μm, mekanik istikrar ve yarı iletken üretim süreçleriyle uyumluluk sağlar.

4. Doping: N-tip doping, nitrojen atomlarının kristal ızgarada fazla serbest elektron oluşturmak için kirlilik olarak kasıtlı olarak eklendiği durumdadır.

5. Elektriksel özellikler:

   • Yüksek elektron hareketliliği, verimli yük taşımalarına olanak tanır.
   • Düşük elektrik direnci, elektriğin iletimini kolaylaştırır.
   • Kontrollü ve tekdüze doping profili, plaka yüzeyinde.

6. Malzeme Saflığı: Yüksek saflıklı SiC malzemesi, düşük kirlilik ve kusur seviyeleri ile cihazın güvenilir performansını ve uzun ömürlülüğünü sağlar.

7. Yüzey Morfolojisi: Epitaksyal büyüme ve cihaz üretim süreçleri için uygun pürüzsüz ve kusursuz yüzey morfolojisi.

8. Isı Özellikleri: Yüksek ısı iletkenliği ve yüksek sıcaklıklarda istikrarlı olması, yüksek güç ve yüksek sıcaklık uygulamaları için uygun hale getirir.

9. Optik Özellikler: Geniş bant boşluğu enerjisi ve görünür ve kızılötesi spektrumdaki şeffaflık, optoelektronik cihaz entegrasyonunu sağlar.

10. Mekanik özellikleri:

    • Yüksek mekanik dayanıklılık ve sertlik, işleme ve işleme sırasında dayanıklılık ve esneklik sağlar.
    • Düşük termal genişleme katsayısı, sıcaklık döngüsü sırasında termal stres kaynaklı çatlama riskini azaltır.

      Sayı	Ürün	Birim	Üretim	Araştırma	Aptal.
      1	çok tip		4 saat	4 saat	4 saat
      2	yüzey yönelimi	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
      3	dopant		N-tip Azot	N-tip Azot	N-tip Azot
      4	direnci	Ohm ·cm	0.015 ~ 0.025	0.01 ~ 0.03
      5	çapı	mm	200±0,2 300	200±0,2 300	200±0,2 300
      6	kalınlığı	μm	500±25 1000±50	500±251000±50	500±251000±50
      7	Çentik yönelimi	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
      8	Not Derinliği	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
      9	LTV	μm	≤5 ((10mm×10mm)	≤5 ((10mm×10mm)	≤10 ((10 mm×10 mm)
      10	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
      11	Yere kapanın.	μm	25 ~ 25	45 ~ 45	65 ~ 65
      12	Warp.	μm	≤30	≤50	≤ 70

8 inç 12 inç 4H-N Tipi SiC Wafer'ın görüntüsü

8 inç 12 inç 4H-N Tipi SiC Wafer'ın uygulaması

Güç Elektronikleri: SiC levhaları, Schottky diyotları, MOSFET'ler (Metal-Oksit-Yarı iletken Alan Etkisi Transistörleri) gibi güç cihazlarının üretiminde yaygın olarak kullanılır.ve IGBT'ler (İzole Kapı Bipolar Transistörler)Bu cihazlar, SiC'nin yüksek parçalanma voltajından, düşük durum direncinden ve yüksek sıcaklık performansından yararlanır, bu da onları elektrikli araçlarda uygulamalar için uygun kılar.yenilenebilir enerji sistemleri, ve güç dağıtım sistemleri.

RF ve Mikrodalga Aygıtları: SiC levhaları, yüksek elektron hareketliliği ve ısı iletkenliği nedeniyle yüksek frekanslı RF (Radyo Frekansı) ve mikrodalga cihazlarının geliştirilmesinde kullanılır.Uygulamalar arasında yüksek güçlü amplifikatörler vardır, RF anahtarları ve radar sistemleri, SiC'nin performans avantajlarının verimli güç yönetimini ve yüksek frekanslı çalışmayı sağladığı yerler.

Optoelektronik: SiC levhaları, ultraviyole (UV) fotodetektorları, ışık yayıcı diyotlar (LED) ve lazer diyotları gibi optoelektronik cihazların üretiminde kullanılır.SiC'nin geniş bant aralığı ve UV aralığında optik şeffaflığı, UV algılama uygulamaları için uygundur, UV sterilizasyonu ve yüksek parlaklıkta UV LED'ler.

Yüksek Sıcaklıklı Elektronik: SiC levhaları sert ortamlarda veya yüksek sıcaklıklarda çalışan elektronik sistemler için tercih edilir.ve otomotiv motor kontrol sistemleri, SiC'nin termal istikrarı ve güvenilirliği aşırı koşullarda çalışmayı mümkün kılar.

Sensör Teknolojisi: SiC levhaları, sıcaklık algılama, basınç algılama ve gaz algılama gibi uygulamalar için yüksek performanslı sensörlerin geliştirilmesinde kullanılır.SiC tabanlı sensörler, yüksek hassasiyet gibi avantajlar sunar, hızlı yanıt süreleri ve sert ortamlarla uyumluluk, onları endüstriyel, otomotiv ve havacılık uygulamaları için uygun hale getiriyor.