Marka Adı: | ZMSH |
Model Numarası: | Silicon carbide seed wafer |
Ödeme Şartları: | 100%T/T |
4H SiC Tohum Wafer Kalınlığı 600±50μm <1120> Özelleştirme Silikon karbit büyüme
SiC tohum kristalı aslında tek bir kristalin büyümesi için tohum olarak hizmet eden, istenen kristal ile aynı kristal yönelimine sahip küçük bir kristaldir.Farklı kristal yönelimlerine sahip tohum kristalleri kullanarak, farklı yönelimlere sahip kristaller elde edilebilir. Bu nedenle, amaçlarına göre sınıflandırılırlar: CZ çekilen tek kristal tohum kristalleri, bölge erime tohum kristalleri,safir tohum kristalleriBu sayıda, sizinle temel olarak silikon karbid (SiC) tohum kristalleri üretim sürecini paylaşacağım.Silikon karbid tohum kristallerinin seçimi ve hazırlanması dahil, büyüme yöntemleri, termodinamik özellikler, büyüme mekanizmaları ve büyüme kontrolü.
1Geniş bant boşluğu.
2Yüksek ısı iletkenliği
3Yüksek kritik parçalanma alanı gücü.
4Yüksek doymak elektron sürükleme hızı
Silikon karbid tohum plakaları | |
Çok tip | 4 saat |
Yüzey yönelim hatası | 4°<11-20>±0,5o |
Direnç | özelleştirme |
Çapraz | 205±0,5 mm |
Kalınlığı | 600±50μm |
Kabartma | CMP,Ra≤0.2nm |
Mikropip yoğunluğu | ≤1 ea/cm2 |
Çizikler | ≤5,Toplam Uzunluk≤2*Diametre |
Kenarlık çipleri/iğnelemeler | Hiçbiri |
Ön lazer işareti | Hiçbiri |
Çizikler | ≤2,Toplam Uzunluk≤Diametre |
Kenarlık çipleri/iğnelemeler | Hiçbiri |
Çok tipli alanlar | Hiçbiri |
Arka lazer işareti | 1 mm (üst kenardan) |
Kenar | Çamfer |
Paketleme | Birden fazla waferli kaset |
Silikon karbid tohum kristalı, silikon karbid hazırlamak için kullanılır.
Silikon karbid tek kristaller tipik olarak fiziksel buhar nakliye yöntemi kullanılarak yetiştirilir.Bu yöntemin spesifik adımları, silikon karbid tozunun bir grafit havuzunun altına yerleştirilmesini ve bir silikon karbid tohum kristalinin havuzun üstüne yerleştirilmesini içerir.Grafit kavurması daha sonra silikon karbidinin süblimasyon sıcaklığına kadar ısıtılır. Silikon karbid tozu Si buharı, Si2C ve SiC2 gibi buhar fazı maddelerine ayrılır.Bu maddeler eksensel bir sıcaklık eğimi etkisi altında havuzun tepesine doğru yükselirler.Üstüne ulaştıklarında, silikon karbid tohum kristalinin yüzeyinde yoğunlaşırlar ve silikon karbid tek kristaline dönüşürler.
Tohum kristalinin çapı istenen kristal çapına uymalıdır. Büyüme sırasında, tohum kristalı bir yapıştırıcı kullanarak kaynarın tepesine sabitlenir.
1.6 inç Dia153mm 0.5mm monokristalin SiC Silikon Karbür kristal tohum plaka veya ingot
2.4h-N 100um SIC Kristal Büyüme için Silikon Karbür Abrasif Tozu