SICOI Gerçek Zamanlı Kontrol Sistemi Robotik ve CNC Makineleri için % 99.9 Algoritma Doğruluğu

SICOI Gerçek Zamanlı Kontrol Sistemi Robotik ve CNC Makineleri için 99.9% Algoritma Doğruluğu

Tanıtım
SilikonKarbidüzerindeİzolatör (SiCOI)incefilmlertemsila)Kesmek...Kenarsınıf- Ne?bileşikmalzemeler,yaratılmıştarafındanentegrasyona)Yüksek-kalite,Tek-KristalsilikonKarbit (SiC)katmanGenelde500...ya da600NanometrekalınÜzerinea)silikonkarbondioksit (SiO2)- Merkezi.BilineniçinOnunüst düzeyTermaliletkenlik,yüksekelektrikliayrıntıGüç,veMükemmeldirenci...ya dakimyasalBozulma,SiC,Ne zaman?çiftleştirilmişilebiryalıtıcıAltyapı,mümkün kılıyor- Evet.Gelişim- Ne?cihazlaryetenekli- Ne?çalıştırmakgüveniliraltındaaşırıGüç,sıklık,vesıcaklıkkoşulları.

İlke
SiCOIincefilmleryapabilir.OlmakÜretilmişİçindenCMOS-uyumlutekniklerBöylegibiİyon-kesmevebir waferbağlanma,kolaylaştırmakOnlarınentegrasyonileGelenekselyarı iletkencihazplatformlar.

İyon-KesmeTeknik
Bir tane.geniş çaptakullanılmışyöntemiçerir.- Evet.İyon-kesme (Akıllı.Kesin)yaklaşım,nerede?a)inceSiCkatman- Evet.transfer edildiÜzerinea)alt katmanİçindenİyonimplantasyonTakip ediliyortarafındanbir waferBağlantı.Bu...metodoloji,BaşlangıçtageliştirilmişiçinüretmekSilikon-- Evet.yalıtıcı (Ülke İçi)Waferler- Evet.ölçek,YüzlerzorluklarNe zaman?uygulanan...ya daSiC.Özellikle,İyonimplantasyonyapabilir.tanıtmakyapısalkusurlarıiçindeSiCBu...varlarzor...ya daTamiryoluylaTermalkaynatma,liderlik...ya daönemlioptikkayıplariçindefotonikcihazlar.Ayrıca,Anilleme- Evet.sıcaklıklaryukarıda1000°CMayısçatışmaileözelişlemiSınırları var.

- Evet.ÜstünleşmekBusınırlamalar,MekanikincelenmeyoluylaöğütmevekimyasalMekanikcilalama (CMP)yapabilir.azaltmak- Evet.SiC/SiO2Evet.bileşikkatman...ya daaşağıda1μm,verimlia)Çok yüksekpürüzsüzYüzey.Reaktifİyonkazım (RIE)tekliflerbirekincelenmerotasıBu...en aza indirir.optikkayıplariçindeSiCOIplatformlar.İçerideparalel,ıslakOksidasyon-YardımcıCMPvar.gösterildietkinliğiiçindeazaltmakyüzeydüzensizliklerveDağınıklıketkiler,- Ne zaman?SonrakiYüksek-sıcaklıkAnillemeyapabilir.GeliştirmekToplam olarakbir waferKalite.

WaferBağlantıTeknoloji
BiralternatifyaklaşımiçinÜretimSiCOIyapılariçerir.bir waferbağlanma,nerede?silikonKarbit (SiC)vesilikon (Si)WaferlervarlarBirleştirilmişaltındabasınç,kullanmak- Evet.termal olarakOksitlenmişkatmanlarüzerindeİkisi deyüzeyler...ya daforma)Bağlantı.Ancak,Termaloksidasyon- Ne?SiCyapabilir.tanıtmakYerelkusurları- Evet.- Evet.SiC/oksitArayüz.BukusurluluklarMayısartışoptikyayılmakayıplarya dayaratmakyüklemeTuzak kurmaksiteler.Ek olarak,- Evet.SiO2katmanüzerindeSiC- Evet.sık sıkyatırılmışkullanmakplazma-Geliştirilmişkimyasalbuharifade (PECVD),a)işlemiBu...Mayıstanıtmakyapısaldüzensizlikler.

- Evet.AdresBusorunlar,birGeliştirilmişyöntemvar.GeçmiştegeliştirilmişiçinÜretim3C-SiCOIÇipler,hangikullanıyor.anodikbağlamaileBorosilikatCam.Bu...teknikkalıcıdoluuyumlulukilesilikonMikro-makinecilik,CMOSdevreler,veSiC-temellifotonikentegrasyon.Alternatif olarak,amorfSiCfilmleryapabilir.OlmakdoğrudanyatırılmışÜzerineSiO2/Evet.WaferleryoluylaPECVDya dapüskürtme,teklif etmeka)basitleştirilmişveCMOS-DostçaÜretimYol.BuGelişmelerönemli ölçüdeGeliştirmek- Evet.ölçeklenebilirlikveuygulanabilirliği- Ne?SiCOIteknolojileriçindefotonik.

Avantajlar
İçeridekarşılaştırma...ya daakımmalzemeplatformlarBöylegibiSilikon-- Evet.yalıtıcı (SOI),silikonnitrit (SiN),veLityumNiobate-- Evet.yalıtıcı (LNOI),- Evet.SiCOIplatformtekliflerfarklıperformansıfaydalariçinfotonikUygulamalar.OnunlaOnuneşsizözellikleri,SiCOI- Evet.gittikçetanınmışgibia)umut vericiAdayiçinSıradaki...nesilKuantumteknolojiler.Bu...AnahtaravantajlarıBunlara şunlar dahildir:

• GenişOptikŞeffaflık:SiCOIsergileryüksekŞeffaflıkÖbür taraftana)genişspektralaralığı...denYaklaşık400nm...ya da5000nm- Ne zaman?korumakdüşükoptikkayıp,iledalga kılavuzuzayıflamaGeneldeaşağıda1dB/cm.

• Çok fonksiyonelYetenek:Buplatformmümkün kılıyorÇeşitliişlevsellikler,dahilElektrikli...optikmodülasyon,Termalayarlama,vesıklıkkontrol,yapma- Evet.uyguniçinkarmaşıkbütünleşikfotonikDevre.

• Doğrusal olmayanOptikÖzellikler:SiCOIdesteklerİkincisi...HarmoniknesilveDiğerleridoğrusal olmayanetkiler,ve- Evet.Ayrıcasağlıyor.a)uygulanabilirtemelleriiçinTek-fotonemisyonİçindenmühendislikRenkMerkezler.

Başvurular

SiCOImalzemelerbütünle- Evet.üst düzeyTermaliletkenlikveyüksekayrıntıVoltaj- Ne?silikonKarbit (SiC)ile- Evet.Mükemmelelektrikliyalıtımözellikleri- Ne?oksitkatmanlar,- Ne zaman?önemli ölçüdeGeliştirici- Evet.optikÖzellikleri- Ne?StandartSiCAltyapılar.Bu...yapar.Onlar.Çok yüksekuyguniçina)genişAralık- Ne?Gelişmişbaşvurular,dahilbütünleşikfotonik,Kuantumoptik,veYüksek-performansıGüçElektronik.

Alacaklılık- Evet.SiCOIplatform,araştırmacılarvar.BaşarılıÜretilmişÇeşitliYüksek-KalitefotonikcihazlarBöylegibiDüzdalga kılavuzları,Mikro çemberveMikrodiskRezonatörlerfotonikKristaldalga kılavuzları,Elektrikli...optikmodülatörler,MachZehnderInterferometre (MZİ),veoptikışınBölücüler.BubileşenlervarlarKarakterizasyontarafındandüşükyayılmakayıpveMükemmelişlevselperformansı,sağlayansağlamAltyapıiçinteknolojiler- Evet.Kuantumiletişim,fotonikSinyalişleme,veYüksek-sıklıkGüçsistemleri.

- Evet.Kullanmaka)incefilmyapısıGeneldeoluştutarafındankatmanlamaTek-KristalSiC (Etrafta500 ¢600nmkalın)Üzerinea)silikonkarbondioksitAltyapıSiCOImümkün kılıyoroperasyoniçindetalepkârÇevreİçeriyoryüksekGüç,yükseksıcaklıklar,veTelsiz...sıklıkkoşulları.Bu...bileşiktasarımpozisyonlarSiCOIgibia)liderlikplatformiçinSıradaki...nesilOptoelektronikveKuantumcihazlar.

S&A

S1:Ne oldu?- Evet.a)SiCOIWafer mi?
A1: ASiCOI (SilikonKarbidüzerindeİzolatör)bir wafer- Evet.a)bileşikyapısıoluşan- Ne?a)incekatman- Ne?Yüksek-KaliteTek-KristalsilikonKarbit (SiC)Bağlıya dayatırılmışüzerindebiryalıtıcıkatman,Geneldesilikonkarbondioksit (SiO2).Bu...yapısıkombinasyonlar- Evet.MükemmelTermalveelektrikliözellikleri- Ne?SiCile- Evet.İzolasyonfaydalar- Ne?biryalıtıcı,yapma- Evet.Çok yüksekuyguniçinbaşvurulariçindefotonik,GüçElektronik,veKuantumteknolojiler.

S2:Ne oldu?varlar- Evet.anabaşvurualanlar- Ne?SiCOIWafers mi?
A2: SiCOIWaferlervarlargeniş çaptakullanılmışiçindebütünleşikfotonik,Kuantumoptik,RFElektronik,Yüksek-sıcaklıkcihazlar,veGüçsistemleri.TipikbileşenlerdahilMikro çemberRezonatörlerMachZehnderInterferometre (MZİ),optikdalga kılavuzları,modülatörler,MikrodiskRezonatörlerveışınBölücüler.

S4:Nasıl?varlarSiCOIWaferlerYaratılmış mı?
A4: SiCOIWaferleryapabilir.OlmaküretilmiştirkullanmakÇeşitliyöntemler,dahilAkıllı-Kesim (İyon-kesmevebir waferbağlama),DoğrudanbağlamaileöğütmeveCMP,anodikbağlamailecam,ya daDoğrudanİfade- Ne?amorfSiCyoluylaPECVDya daTükürükler.BuSeçim- Ne?yöntemBuna bağlı.üzerinde- Evet.başvuruveİstenenSiCfilmKalite.

ilgili ürün