 |
SiC Wafer El Wafer İşleme, Temiz Oda Uyumlu, Korozyona Dirençli, Özelleştirilebilir Arayüz
Ürün ayrıntıları:
| Marka adı: | ZMSH |
|
Detay Bilgi |
|||
| yoğunluk: | 3.21g/cm ³ | Sertlik: | 2500vickers sertliği |
|---|---|---|---|
| Tane büyüklüğü: | 2 ~ 10μm | Kimyasal saflık: | % 99.99995 |
| Isı kapasitesi: | 640J · kg-1 · k-1 | Süblimasyon sıcaklığı: | 2700°C |
Ürün Açıklaması
Wafer Elinin Ürün Tanıtımı
SiC wafer eli yüksek sertlik ve termal istikrarlı waferleri işlemek için tasarlanmış bir son efektördür.Mekanik dayanıklılığı mükemmel., korozyon direnci, termal dayanıklılık ve ultra temiz performans.Temiz odalarda ve yüksek sıcaklıkta safira.
Wafer elinin yapısı ve çalışma prensibi
SiC wafer kolu, çatal benzeri yapılar veya özel platformlar kullanarak waferleri kenarlarından veya arka taraflarından destekler.ya da mekanik tutmalar temassız veya minimum temaslı aktarımı sağlar.Yüksek yapısal sertliği, taşıma sırasında boyutsal istikrar sağlar, bu da vafelerin doğru konumlandırılmasını ve en az kirlenme riskini sağlar.
Wafer Elinin Uygulama Alanları
Wafer kolları aşağıdaki yarı iletken ve optoelektronik işlemlerde yaygın olarak kullanılır:
1Wafer taşıma sistemleri (örneğin EFEM, FOUP yükleyicisi, SMIF pod arayüzleri)
2Litografi, kazım, iyon ekimi, termal işleme için wafer yükleme/boşaltma
3.Wafer inceleme, sıralama ve sınıflandırma araçları
4.Döşeme yapıştırma, dilimleme, ambalajlama ve son test istasyonları
5Ekran panellerinde, MEMS'de ve biyoçip üretiminde hassas işleme
6Si, SiC, GaAs, GaN, safir ve diğer substratlar için uygundur.
Ürün AvantajlarıW'denElini uzat.
A: 2 inçten 12 inç waferlere kadar destek verir; özel boyutlar da mevcuttur.
S2: Wafer eli waferı kaşıyacak mı yoksa kirletecek mi?
A: Hayır. El, düşük partiküllü, aşınmaya dayanıklı, kenarları çemberli ve temiz odaya uygun malzemelerden yapılmıştır.
S3: Robotik sistemlerle entegre edilebilir mi?
C: Evet, çeşitli robot arayüzlerini (örneğin SECS / GEM, SEMI standartları) destekler ve belirli sistemler için özelleştirilebilir.
S4: Beklenen kullanım süresi ve bakım gereksinimleri nedir?
A: Minimal bakımla 1 milyondan fazla çalışma döngüsü için tasarlanmıştır; periyodik temizlik yeterlidir.
S5: Farklı wafer malzemelerine (Si, SiC, Sapphire, vb.) dayanarak özelleştirilebilir mi?
A: Evet. Uygun destek yapılarıyla çeşitli wafer malzemeleri için optimize edilmiş özel tasarımlar sunuyoruz.
İlgili Ürünler
12 inç SiC Wafer 300mm Silikon Karbid Wafer İletici Numara N-Tipi Araştırma sınıfı