SiC taşıyıcı plaka ısı iletkenliği korozyon direnci MOCVD vafra
Ürün ayrıntıları:
Menşe yeri: | Çin |
Marka adı: | ZMSH |
Ödeme & teslimat koşulları:
Ödeme koşulları: | T/T |
---|
Detay Bilgi |
Ürün Açıklaması
SiC taşıyıcı plakanın tanıtımı
SiC taşıyıcı plaka, yüksek saflıklı silikon karbürden yapılmış hassas bir destek substratıdır.ve kimyasal korozyona karşı olağanüstü dirençKesinlikle işlenmiş ve cilalanmış bir yüzeyle, SiC taşıyıcı plakaları vafra işleme, MOCVD epitaksi, yüksek sıcaklıkta kaynatma ve diğer zorlu uygulamalarda yaygın olarak kullanılır.Kuvars veya AlN gibi geleneksel malzemelerle karşılaştırıldığındaSiC, üstün termal kararlılık ve uzun kullanım ömrü sağlar.
Çalışma prensibiSiC taşıyıcı plaka
Yüksek sıcaklıklı süreçlerde, SiC taşıyıcı plaka, vafeleri veya ince filmli malzemeleri taşımak için bir destek olarak hizmet eder.Süreç istikrarını ve tekdüzeliğini artırmakEk olarak, sertliği ve kimyasal inertliği nedeniyle, plaka koroziv ortamlarda bile yapısal bütünlüğünü korur, ürün saflığını ve ekipman güvenliğini sağlar.
Tipik UygulamalarSiC taşıyıcı plaka
- MOCVD epitaksiyasında substrat desteği
- SiC ve GaN gibi geniş bant aralığı yarı iletkenlerin termal işlenmesi
- Waferler için anneling, sinterleme ve difüzyon işlemleri
- LED çip üretiminde ısı dağıtıcı ve taşıyıcılar
- Yüksek vakum veya koroziv ortamlarda malzeme taşıma ve desteği
S&ASiC taşıyıcı plaka
S1: SiC taşıyıcı plakalarının maksimum çalışma sıcaklığı nedir?
A: SiC plakaları, işleme ortamına ve süresine bağlı olarak genellikle 1600 °C'ye veya daha yüksek sıcaklıklara dayanabilir.
S2: SiC, AlN veya kuvars taşıyıcılarıyla nasıl karşılaştırılır?
A: SiC daha yüksek termal iletkenlik, üstün termal şok direnci ve daha uzun kullanım ömrü sunar, bu da sert ve tekrarlanan kullanım uygulamaları için idealdir.
S3: Boyut ve şekil özelleştirilebilir mi?
C: Evet, özel ekipman ve işlem gereksinimlerinize uygun olarak özel boyutlar, kalınlıklar, delik desenleri ve yüzey bitirmeyi sunuyoruz.
İlgili Ürünler
12 inç SiC Wafer 300mm Silikon Karbid Wafer İletici Numara N-Tipi Araştırma sınıfı